【简单介绍【�/strong>

FGL系列双温区管式梯度炉专门设计用于双温区CVD工艺也可用于其它高温材料的热处理工艺。两个温区独立控制，温区可单独使用，也可提供较大梯度差的温场。优质硅钼棒、硅碳棒，电阻丝组合加热，在同一腔体内实现不同的温度差，是CVD工艺的专用理想设备、�/p>

【详细说明【�/p>

FGL系列双温匹�/span>­管式梯度炈�/span>(T max 1700℃和T max 1400ℂ�/span>)

FGL系列双温区­管式梯度炉专门设计用于双温区CVD工艺也可用于其它高温材料的热处理工艺。两个温区独立控制，温区可单独使用，也可提供较大梯度差的温场。优质硅钼棒、硅碳棒，电阻丝组合加热，在同一腔体内实现不同的温度差，是CVD工艺的专用理想设备、�/span>

特点

1. 工作温度RT�?600ℂ�/span>

2. 炉管管径40mm�?00mm可逈�/span>

3. 温区个数2�?/span>

4. 程序控温仪，智能逻辑PID算法，控制精准。可编辑、储存并调用多段程序，无需重新设置，操作简单、�/span>
   

5. 炉壳结构，双层炉壳风冷结构、�/span>

6. 采用不锈钢双层密封法兰，进、出气阀配美标针阀、�/span>

7. 两端可调节式法兰支撑结构，延长刚玉管使用寿命、�/span>

8. 超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电、�/span>

9. 安全保护当炉体漏电时自动断电、�/span>

10. LED高强度抗破坏全不锈钢按钮，经久耐用、�/span>

11. 拓展选件: 炉内测量系统（氧含量检测系统、温度检测系统）：�/span>

真空系统（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）；

气氛系统（浮子流量计、质量流量计）；

监控系统：（温度记录仪、触摸屏远程监控）；