氮化硅压力烧结炉（卧式）

产品描述９�/strong>

氮化硅压力烧结炉（卧式）主要用于半导体领域氮化硅陶瓷制品的真空烧结和气压烧结等、�/p>

应用范围９�/strong>

氮化硅陶瓷球、轴承、导热基板、平台、导轨、刀具、结构件等、�/p>

氮化硅压力烧结炉（卧式）技术特�?/h3>

采用特殊的炉胆结构和加热器布置，炉温均匀性好：�/span>

全密闭马弗，密封效果好，抗污染能力强：�/span>

可具备真空烧结、压力烧结、负压脱脂烧结等功能：�/span>

具有超温超压等故障报警，机械式自动压力保护，动作互锁等功能，设备安全性高：�/span>

可选配脱脂系统，实现陶瓷制品的脱脂烧结一次性处理；

适于工艺气氛：N₂/Ar/H₂、�/span>

氮化硅压力烧结炉（卧式）产品规格

型号/参数	HPSF-4412	HPSF-5518	HPSF-6615	HPSF-6618	HPSF-9915
工作区尺寷�br/>W×H×L（mm（�/td>	400×400×1200	500×500×1200	500×500×1800	600×600×1800	900×900×1500
**温度（℃（�/td>	2000	2000	2000	2000	2000
温度均匀性（℃）	±5~±10	±5~±10	±5~±10	±5~±10	±5~±10
极限真空度（Pa（�/td>	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
**压力（MPa（�/td>	10	�?0	�?0	�?0	�?0

以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准、�/p>

氮化硅压力烧结炉（卧式）配置选择

结构形式：卧�?单开�?双开门；立式-上出�?下出斘�/span>

炉门锁紧方式：手�?自动

炉壳材质：全碳钢/内层不锈�?全不锈钢/Q345

保温材质：碳�?石墨�?碳纤维固化毡

加热器、马弗材质：石墨/CFC

热电偶：K/N/C/S分度号（钨套�?陶瓷套管（�/span>