一、设备简介：
该设备为我司研发用于石墨烯薄膜连续生长或者线性材料的连续的专用设备，此款设备是快速冷却卷对卷CVD连续生长炉，它由高温生长腔体，三路质量流量计气路系统，真空机组，石英管，冷却装置，收放卷的密封装置，自动化控制系统组成，两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室（即收放铜箔或纤维丝的密封装置），收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点，可以进行大面积、高质量石墨烯的规模化生长或者线性材料的连续生长。（纤维生长工艺，配有纤维张力计，可以通过调节电机转速，以便达到纤维连续进出且受力均匀（/span>
二、技术参?/span>
1.加热系统
zui高温?/span> |
1200ℂ/span> |
使用温度 |
?100ℂ/span> |
炉膛有效尺寸 |
Φ80mm（适用亍/span>2-3英寸样品，炉管直径可根据实际需要定制。） |
炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制?/span> |
热电偶类垊/span> |
K型热电偶 |
控温精度 |
±1ℂ/span> |
控温方式 |
30段可编程控温＋/span>PID参数自整定，操作界面丹/span>7“/span>工控电脑，内?/span>PLC控制程序、/span> |
加热长度 |
200+200+200mm |
加热原件 |
电阻东/span> |
供电电源 |
单相＋span style="font-family: Arial;">220V＋/span>50Hz |
2、三路质子流量控制系绞/span>
连接头类垊/span> |
双卡套不锈钢接头 |
标准量程＇span style="font-family: Calibri;">N2) |
200sccm＋/span>500sccm?/span>1000sccm （可根据用户要求定制（/span> |
准确?/span> |
±1.5%F.S |
线?/span> |
±1%F.S |
重复精度 |
±0.2%F.S |
响应时间 |
气特性：1｝/span>4 Sec，电特性：10 Sec |
工作压差范围 |
0.1｝/span>0.5 MPa |
zui大压劚/span> |
3MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
显示 |
4位数字显礹/span> |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
压力真空?/span> |
，span style="font-size: 16px; font-family: Calibri;">0.1｝/span>0.15 MPa, 0.01 MPa/栻/span> |
截止阀 |
Φ6 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
3?/span>低真空机练/span>
空气相对湿度 |
?5% |
工作环境 |
5ℂspan style="font-size: 16px; font-family: 宋体;">｝/span>40ℂ/span> |
工作电电厊/span> |
220V±10% 50~60HZ |
功率 |
1KW |
抽气速率 |
10m³/h |
极限真空 |
5X10-1Pa |
工作压力范围 |
1.01325X105｝/span>1.33X10-2Pa |
耐压倻/span> |
0.03MPa |
容油野/span> |
1.1L |
进气口口徃/span> |
KF25 |
排气口口徃/span> |
KF25 |
噪音 |
50dB |
连接方式 |
采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
手机粉体罐/p>
发求
发供
