大面积CVD石墨烯生长设夆�/h1>

设备尺寸

Φ3002800mm

炉管尺寸

Φ3003000mm

进料野�/p>

20Kg

加热元件

进口KTL电阻东�/p>

加热区数野�/p>

3-8�?可根据需求定�?

温度

室温�?200℃，连续可调

控温方式

人机界面加PLC控制�?0寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制

无纸记录

内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键拷贝数�?/p>

结构描述

①设备可电动对半开启，自动控制冷却降温系统.实现可控冷却速度.
②在进料端配�?路高精度质量流量计系统，准确控制气体流量，可以实现生产工艺拓展和调整、�/p>
③系统采用自动化工艺流程，设定好工艺一键操作。降低人为因素，工艺可靠性可以达�?9.9%：�/p>
④机械泵系统�?pa,另外配备微调系统，确保可以在稳定负压下生长石墨烯；可实现日产20万平方厘米石墨烯薄膜

腔体

采用内控温和外控温相互切换，防止石英折射和散射造成的温场不均匀现象

供气系统

三路质量流量讠�/p>

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*联系电话９�/div>

Email９�/div>

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设备尺寸	Φ300*2800mm
炉管尺寸	Φ300*3000mm
**进料野�/p>	20Kg
加热元件	进口KTL电阻东�/p>
加热区数野�/p>	3-8�?可根据需求定�?
**温度	室温�?200℃，连续可调
控温方式	人机界面加PLC控制�?0寸液晶屏控制，数字工控仪表双控，采用工业智能控温仪表和软件实现双控，采用模糊型PID控制
无纸记录	内置存储记录运行工艺数据，外接USB接口，可以电脑连接一键拷贝数�?/p>
结构描述	①设备可电动对半开启，自动控制冷却降温系统.实现可控冷却速度. ②在进料端配�?路高精度质量流量计系统，准确控制气体流量，可以实现生产工艺拓展和调整、�/p> ③系统采用自动化工艺流程，设定好工艺一键操作。降低人为因素，工艺可靠性可以达�?9.9%：�/p> ④机械泵系统�?pa,另外配备微调系统，确保可以在稳定负压下生长石墨烯；可实现日产20万平方厘米石墨烯薄膜
腔体	采用内控温和外控温相互切换，防止石英折射和散射造成的温场不均匀现象
供气系统	三路质量流量讠�/p>