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超高真空多腔体磁控溅射系绞/div>
超高真空多腔体磁控溅射系绞/div>
  • 型号

    QBT-MP
  • 产地

    福建
  • 品牌

    韫茂科技
  • 产品分类

    实验设备
  • 关注?/p>4277

  • 参考报件/p>

产品详情

超高真空多腔体磁控溅射系绞/span>

556.png

技术参数:


基板:可加热至RT-900ºC,可旋转,基板与靶材距离连续可调,晶圆和靶空间可以连续变匕/span>

极限真空?lt;3E-9Torr

基板传输:高度可靠和可重复的基板传输能力



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