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手套箱集成系刖/div>
手套箱集成系刖/div>
  • 型号

    手套箱集成系刖/span>
  • 产地

    深圳
  • 品牌

    原速光甴/span>
  • 产品分类

    手套箰/span>
  • 关注?/p>2153

  • 参考报件/p>

产品详情

工艺

可沉积薄膜种类和应用场景包括9br/> High-K介电材料 (A,O, H1O, ZrO PrA1Q, Ta, 0s. 1a,0);
金屬互联结构 (Cu, WN, TaN, Ru, In);
催化材料 (Pt, Ir, Co, TiO, V,0g):
生物医学涂层 (TiN, ZIN, TiAIN, AITIN);
•金?Ru, Pd, Ir Pt, Rh, Co, Cu, Fe, Ni;
压电 (ZnO, AIN, ZnS);
透明电学导体 (ZnO:Al, ITO);
光子晶体(ZnO,ZnSIMn, Ti0, Ta,N.);等、/p>

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