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超高温碳化物沉积炈/div>
超高温碳化物沉积炈/div>
  • 型号

    HCVD-101015-ZrC
  • 产地

    湖南
  • 品牌

    顶立科技
  • 产品分类

    辊道炈/span>
  • 关注?/p>3072

  • 参考报件/p>

产品详情

超高温碳化物沉积炉技术特?/h3>

采用先进的控制技术,能精密控制H2、C3H6的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动小:/span>

全密闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;

多通道工艺气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好:/span>

多级高效尾气处理系统,能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物,环境友好:/span>

可选配新设计的防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率低;

适于工艺气氛:真?H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2、/span>

超高温碳化物沉积炉产品规栻/h3>
参数\型号 HCVD-101015-ZrC HCVD-152023-ZrC VCVD-0608-ZrC VCVD-0812-ZrC VCVD-1120-ZrC VCVD-1218-ZrC VCVD-1520-ZrC
工作区尺 W×H×L(mm(/td> 1000×1000×1500 1500×2000×2300 600×800 800×1200 1100×2000 1200×1800 1500×2000
**温度(℃(/td> 2000 2000 2000 2000 2000 2000 2000
温度均匀性(℃) ±10/±15 ±15/±20 ±5/±7.5 ±7.5/±10 ±10/±15 ±10/±15 ±15/±20
极限真空度(Pa(/td> 1-100 1-100 1-100 1-100 1-100 1-100 1-100
压升率(Pa/h(/td> 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67 0.67
加热方式 电阻 电阻 电阻 电阻 电阻 电阻 电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准、/p>

超高温碳化物沉积炉配置选择

结构形式:卧?单开?双开门;立式-上出?下出斘/span>

炉门锁紧方式:手?自动

炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢

保温材质:碳?石墨?碳纤维固化毡

加热器、马弗材质:石墨/CFC

热电偶:C/S分度叶/span>

红外仪:单比?双比艱/span>

真空泵:机械泵组/耐腐蚀泵组


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