标题９�/strong>

美格小型氧化亚硅气象沉积真空� 小型氧化亚硅原料真空炈�/p>

技术参数：

装料罐尺寸�?00 * 800，装料量0.025M3，，工作温度�?5０℃，极限温�?600℃，温差控制精度3℃，真空�?.1- 2.5pa，气氛类别：Ar/N2，总功�?5KW，工序时�?4H/炉、�/p>

工艺特点９�/strong>

三温区设计，陶瓷内胆，适用于动力电池负极材料（氧化亚硅等可气相沉积材料）小批量生产用；温差控制精度高，高温高真空；具备脱水、混炼反应、提纯等工艺能力。反应充分，成品率高（约95%），性能稳定，主要元器件皆为进口大品牌，保修期一年，售后服务高效、专业、�/p>

关键词：

气相沉积真空� 氧化亚硅原料真空� 氧化亚硅气相沉积真空炈�/p>

氧化亚硅归中反应 氧化亚硅提纯