1、技术指栆�/span>

环境温度９�/span>5~32ℂ�/span>

空气相对湿度９�/span>�?5%

工作电压９�/span>AC220V±10% 50/60HZ

系统整体极限真空度：5.0×10^-5Pa

实验真空度：5.0×10^-3Pa

连接管路：采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10^-9Pa.m³/s

2�?/span>配置说明

2.1�?/span>机械泵：

抽气速率９�/span>30m³/H

容油量：1.9L

电机功率９�/span>500W

极限压强９�/span>5×10^-1Pa

2.2�?/span>分子泵：

抽气速率９�/span>600L/S

极限压强９�/span>6×10^-7Pa

启动时间：＜2min

额定转速：4300�?/span>/刅�/span>

冷却方式：环境温�?/span>5-32℃时，风冷；5-40℃时看，水冷、�/span>

2.3�?/span>分子泵控制器９�/span>

电压９�/span>220V±22V

启动电流９�/span>�?A

输入频率９�/span>47HZ�?3HZ

**输出功率９�/span>�?50W

**加速电压：�?0V

加速时间：�?min

频率（双速）：高逞�/span>705HZ±10HZ

低逞�/span>430HZ±5HZ

2.4�?/span>复合真空计：

测量路数９�/span>2路（电阻规、电离规吃�/span>1路）

工作模式：手�?/span>/自动（可切换（�/span>

电阻单元参数

规管型号９�/span>ZJ-52T电阻觃�/span>

测量范围９�/span>1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa

有效范围９�/span>2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

控制范围９�/span>2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa

电离单元参数

规管型号９�/span>ZJ-27电离觃�/span>

可测范围９�/span>5.0Pa~1.0×10^-5Pa

有效范围９�/span>1.0Pa~5.0×10^-5Pa

控制范围９�/span>1.0Pa~5.0×10^-5Pa

规管除气方式：焦耳去氓�/span>

控制方式：点动或区域控制/带掉电记必�/span>

控制精度９�/span>±1%

采样时间９�/span>1S

电源９�/span>220V±10% 50HZ

功耗：50W

使用环境温度９�/span>0℃~45ℂ�/span>

湿度９�/span>�?5%