大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸�?*尺寸�?英寸）衬底退火处理，设备采用电阻丝为加热元件，保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型，保温性能好，电阻丝为内嵌式一体成型，美观、节能；该设备还集成了真空以及供气系统，满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管，满足高温工作条件，也能满足真空或者一定的正压条件实验要求，是一款洁净的大尺寸样品热处理设备、�/span>

技术参数：

型号	LFT1200C 450D254
额定功率	13KW
额定电压	380V
**温度	1000ℂ�/span>
额定温度	900ℂ�/span>
推荐升温速率	10�?min
炉管尺寸 （可根据客户要求订制（�/span>	内径245*600mm（含管堵（�/span>
外型尺寸（长×深×高（�/span>	1900*700*2100mm
控温精度	±1ℂ�/span>
极限真空度（选件（�/span>	1.0×10-3Pa（机械泵+分子泵）
加热元件	OCr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金（�/span>
重量	490公斤
客户自配装空气开兲�/span>	40A

流量控制器技术参数：

连接头类型：Φ6双卡套接夳�/span>

流量规格�?nbsp;＇�/span>1000,1000＋�/span>1000,1000＋�/span>（�/span>sccm＋�/span>具体气体量程 可根据工艺要求配�?/strong>

准确度：±1.5%

线性：±0.5�?.5%

重复精度：�?.2%

响应时间：气特性：1�? Sec 电特性：10 Sec

工作压差范围�?.1�?.5 MPa

耐压�?MPa

输入输出信号９�/span>0 V ~ +5.00 V＇�/span>输入阻抗大于100K＋�/span>输出电流不大亍�/span>3mA（�/span>
电源９�/span>+15 V 50 mA -15V 200 mA
工作环境温度:5ℂ�/span> ~ 45ℂ�/span>