GIB精修离子束系绞/strong>
用于扫描电镜/ 双束电镜的氩离子束方桇/strong>
TechnoorgLinda的低能氩离子枪(GIB(/span>适用于表面减薄、其他表面处理后的后处理、清洁以及去除无定形和氧化物表面层、/span>当低能氩离子枪集成到扫描电镜中时,其作用尤为明显。有了集成离子枪,就可以在研究之前对样品进行精修、/span>实现高质量样品的另一个重要应用是在双SEM/FIB系统中进衋/span>FIB样品制备后,TEM样品进行*终抛光和温和的表面清洁、/span>
可与扫描电镜集成
带波纹管的传输系统可通过连接管安装到扫描电镜上。连接管输出法兰的尺寸与相应 SEM 端口尺寸相匹配。這/span>过线性传输系统提供的离子源流动性,可实现理想的工作距离?5-30 mm)、/span>
低能量氩离子?/strong>
低能量离子枪的直径和长度均为50mm。氩离子束的胼/span>量范围:100eV-2kV、/span>2kV时的**束流丹/span>70µA。离子束为宽束,?*全宽(FWHM)为 2mm、/span>
半管支架
低能量离子枪安装在半管支架中、/span>