典型应用

电子元器件、半导体晶圆等相关材料在真空环境下的烧结、退火工艺、�/span>

参数及特炸�/strong>

� 额定温度�?00℃；

� **温度�?00℃；

� 极限真空度：5×10-4Pa：�/span>

� 炉管材质：熔融石英；

� 有效尺寸：�?50×500mm（D×H）；

� 温度均匀性：±2℃；

� 具有超温、停气、电机过载、欠逆相等声光报警保护功能、�/span>

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