温控偏差９�/span>

±5� (温表本身±1℃）

载带传送速度９�/span>

�?00�?000）mm/min

载带偏移量：

±2.0mm

涂膜适合膜片厚度范围９�/span>

�? �?00）μm ＋�/span>

涂膜膜片厚度控制精度９�/span>

厚度±5%，以厚度20μm±1μm作为设备验收

**涂膜膜宽度：

200mm

外形尺寸９�/span>

�?/span>�?M × 1.1M × 1.6M（L×W×H（�/span>