SBC-16 磁控离子溅射仪_北京中科科仪股份有限公司_供应信息_采购中心_中国粉体罐�/title>

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SBC-16 磁控离子溅射�?/div>

型号
SBC-16
产地
北京
品牌
kyky
产品分类
溅射�?/span>
关注�?/p>2432
参考报件�/p>

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产品详情

SBC-16是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜、�/span>

主要特�?/span>

通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表靡�/span>受损、�/span>

操作容易快捷＋�/span>控制的参数包括放气以及氩氓�/span>换气控制、�/span>

数字化的喷镀电流控制不受样品室内气压影响＋�/span>可得到一致的镀膜速率�?*的镀膜效果、�/span>

可使用多种金属靶材：Au＋�/span>Au/Pd,＋�/span>Pt,＋�/span>Pt/Pd＇�/span>Au靶为标配），靶材更换快速方便、�/span>

技术参�?/span>

溅射系统
靶材	Au靶为标配，可逈�/span>Pt，直徃�/span>57mm x 0.1mm厙�/span>
标准样品�?/span>	可以装载12�?/span>SEM样品座，高度可调范围丹�/span>60mm
旋转倾斜样品台（选配（�/span>	旋转速度９�/span>0~60rpm连续可调，倾斜角度９�/span>-90°~ 90°连续可调：�/span> 不锈钢腔体：直径120mm X髗�/span>75mm：�/span> 观察窗：直径120mm X髗�/span>45mm：�/span> 标配旋转台直徃�/span>40mm，可攽�/span>4个标准样品台＋�/span>其它规格可订做；具有双重锁紧装置＋�/span>可确保样品在旋转倾斜时不会松动脱落、�/span>
溅射电流	微处理器控制＋�/span>安全互锁，可调，电流5~30mA，程序化数字控制
计量�?/span>	真空９�/span>Atm-1*10-3mbar，电流：0~99mA
控制方法	带有“开始”“暂停”按钮的微处理控制器＇�/span>1，�/span>999s），自动抽气、溅射、关机后自动放气、�/span>
真空系统
抽气速率	133L/MIN
极限真空	10-4mbar�?/span>
噪音	56dB

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