一�?nbsp;设备名称、型号：MBF100-10型气相沉积炉

二�?nbsp;技术指标与基本配置

2.1额定温度９�/span>750℃；

2.2 **温度９�/span>1000℃；

2.3加热区尺寸：770×770×300mm＇�/span>W×D×H）；

2.4有效尺寸９�/span>640×640×250mm＇�/span>W×D×H）；

2.5外腔体材质：SUS310S：�/span>

2.6内胆材质：熔融石英；

2.7产品尺寸９�/span>Φ120：�/span>

2.8设备产能：每炉可放置16片基板；

2.9加热功率９�/span>16kW：�/span>

2.10加热方式：底�?/span>+四侧（五面加热）：�/span>

2.11控温点数：底�?/span>+侧面，共2点；

2.12热偶类型９�/span>K分度：�/span>

2.13升温速率９�/span>≣�/span>8�?min：�/span>

2.14加热元件９�/span>FEC陶瓷纤维加热器；

2.15炉门开启方式：顶开门设计；

2.16控温稳定度：±1℃；

2.17控温仪表：进口温控仪，具月�/span>PID自整定功能；

2.18程序步数９�/span>20�?/span>：�/span>

2.19报警保护：超温、断偶等声光报警保护，并具有超温报警断电保护功能：�/span>

2.20表面温升：＜35℃；

2.21设备重量：约500kg：�/span>

2.22外形参考尺寸：1200×1200×1500mm＇�/span>W×D×H），实际尺寸�?终产品为准；

2.23设备外颜色：浅灰色、�/span>

三�?/span>设备正常运行条件

环境条件：温�?/span>0｝�/span>40℃，湿度�?0＄�/span>RH，无腐蚀性气佒�/span>＋�/span>无强烈气流扰动；

地面要求：水平、无明显震动，承重＞500Kg/m²：�/span>

动力条件：容量大亍�/span>22kVA＋�/span>3盷�/span>5线，电压220/380V，频玆�/span>50Hz。火线：黄色、绿色、红色，零线：蓝色，地线：黄绿色：�/span>

安装场地９�/span>1500mm×1500mm×3000mm＇�/span>D×W×H（�/span>＋�/span>安装面积大于2.5m²、�/span>