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东海采用CVD法生产的Solid SiC产品被广泛应用于离子刻蚀等半导体设备中，我们的产品有以下几大优势９/p>
1、无热变彡/p>
2、无气体释放
3、良好的化学稳定?/p>
4、相比硅材料寿命镾/p>
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