高低温探针台特点

�?nbsp;产品功能９�/strong>高低温探针台丹�/span>小尺寸样品测量电特性，提供高精度可控的测量环境：�/span>

�?nbsp;使用范围９�/strong>帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能、�/span>

�?nbsp;应用领域９�/strong>提供材料/器件的IV/CV特性测试，LD/LED/PD的光�?波长测试，射频特性器件失效分析，芯片内部线路/电极/PAD测试等技术解决方案；

�?nbsp;定制服务９�/strong>定制样品台和测量方式：�/span>

�?nbsp;自动控温９�/strong>PID自整定连续多点控温、�/span>

真空探针台技术参数：

�?nbsp;外形尺寸９�/strong>�?50mm*�?50mm*�?300mm：�/span>

�?nbsp;温度范围９�/strong>-196~400℃（环境温度）；

�?nbsp;制冷加热方式９�/strong>液氮制冷，电阻加热；

�?nbsp;样品台尺寸：≤�?00mm：�/span>

�?nbsp;有效高度９�/strong>40mm：�/span>

�?nbsp;真空度：机械泵≤10Pa，分子泵�?.0 e-3Pa：�/span>

�?nbsp;气路９�/strong>1-2路；

�?nbsp;温度传感器：PT100：�/span>

�?nbsp;控温方式９�/strong>PID线型调节：�/span>

�?nbsp;控温精度９�/strong>±0.1℃；

�?nbsp;**升温速率９�/strong>80�?min（RT�?00℃）：�/span>

�?nbsp;**降温速率９�/strong>50�?min（RT�?100℃）：�/span>

�?nbsp;XYZ轴行程：50mm*50mm*10mm：�/span>

�?nbsp;探针结构９�/strong>外置探针臂，真空波纹管结构；

�?nbsp;移动精度９�/strong>0.01mm：�/span>

�?nbsp;线缆９�/strong>同轴�?射频线；

�?nbsp;探针类型９�/strong>钨探针（类型可选）：�/span>

�?nbsp;接头类型９�/strong>BNC/鳄鱼�?接线端子：�/span>