RTP-3-08的产品特炸�/strong>

• 可测大尺寸样品：可测单晶片样品的尺寸�?-8英寸、�/span>

• 压力控制系统创新设计９�/strong>高精度控制压力，以满足不同的工艺要求、�/span>

• 存储热处理工艺：方便工艺参数调取，提高实验效率，数据可查询、�/span>

• 快速升温：**升温速率可达150�?s、�/span>

• 程序设定与气路扩展：可实现不同温度段的精确控制，进行降温段的自动转接，并能够对工艺菜单进行保存，方便调用。采用MFC精确控制气体流量�?多可支持6路气体，实现不同气氛环境（真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等）下的热处理、�/span>

• 全自动智能控制：采用全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空、冷却水等均可实现自动控制、�/span>

• 超高安全系数９�/strong>采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障设备使用安全、�/span>

• 分区控温：分区域控制加热功率，提高温度均匀性、�/span>

• 国产退火炉９�/strong>拥有自主研发技术和制造能力，能快速反应客户售后需求、�/span>