Fastmicro掩膜版｜保护膜表面颗粒物快速检测系统（PDS（�/span>

为掩膜版、掩膜版保护膜以及基板（衬底）制造工艺，提供高通量的表面颗粒污染检测服务、�/p>

该系统对粒径大于 0.1µm 的颗粒具有高灵敏度，是一种高效且提供全方位服务的选择。它能以手动或自动的操作方式，以及较低的维护成本，取代传统的颗粒检测系统、�/p>

产品特点９�/p>

• 高通量检测：每小时可检� 400 片晶圆（WPH（�/p>

• 数据输出：根� ISO 14644-9 标准，在用户界面� PDF 报告输出 SCP 等级

• 正反两面检测：单次测量中完成正反两面检测（无需翻转（�/p>

• 检测范围：能够检� � 0.1µm 聚苯乙烯乳胶（PSL）等效颗粒（� NIST 认证（�/p>

• 
  

生产过程中的一致性测野�/span>

快逞�能在数秒内完成大面积成像

定量:适用于生产和研发环境中的质量鉴定与监浊�/span>

操作简侾�不受操作人员影响，自动化，洁净抓取方式

精准:高分辨率测量（数量、位置、尺寸）

一致�?每次测量都保持客观、稳宙�/span>

高通量:能在工艺时间窗口内得出结枛�/span>

FM-PDS: 直接检测表面颗粑�/span>

该系统可为晶圆制造工艺、下一代化合物半导体以及先进封装应用，提供高通量的表面颗粒污染检测服务�?nbsp;

该系统对粒径大于 0.1μm的颗粒具有高灵敏度，是一种高效且提供全方位服务的选择、�/span>

它能以手动或自动的操作方式，以及较低的维护成本，取代传统的颗粒检测系统�?nbsp;

对于下一代半导体生产应用� PDS 系统具备独特的属性：双面�?nbsp;时扫描（选配）；

静态视场扫描（在图像采集过程中无需移动产品）、�/span>