一�?nbsp;设备名称、型号：HWF6630-10型罐式气相沉积炉

二�?nbsp;技术指标与基本配置

2.1额定温度９�/span>750℃；

2.2**温度９�/span>1000℃；

2.3加热区尺寸：Φ660×300mm＇�/span>D×H）；

2.4腔体材质９�/span>SUS310S：�/span>

2.5**加热功率９�/span>16kW：�/span>

2.6加热方式：底�?/span>+四周：�/span>

2.7控温点数：底�?/span>+侧面，共2点；

2.8热偶类型９�/span>K分度：�/span>

2.9升温速率９�/span>�?�?min：�/span>

2.10加热元件９�/span>FEC陶瓷纤维加热器；

2.11炉门开启方式：顶开门设计；

2.12控温稳定度：±1℃；

2.13控温仪表：进口温控模块，具有PID自整定功能；

2.14程序步数９�/span>20步；

2.15报警保护：超温、断偶等声光报警保护，并具有超温报警断电保护功能：�/span>

2.16表面温升：＜35℃；

2.17设备重量：约750kg：�/span>

2.18外形参考尺寸：1185×1745×1780mm＇�/span>W×D×H），实际尺寸�?终产品为准；

2.19设备夕�/span>颜色：浅灰色、�/span>

三�?nbsp;设备正常运行条件

1�?nbsp;环境条件：温�?/span>0｝�/span>40℃，湿度�?0＄�/span>RH，无腐蚀性气佒�/span>＋�/span>无强烈气流扰动；

2�?nbsp;地面要求：水平、无明显震动，承重＞500Kg/m2：�/span>

3�?nbsp;动力条件：容量大亍�/span>22kVA�?�?线，电压220/380V，频�?0Hz。火线：黄色、绿色、红色，零线：蓝色，地线：黄绿色：�/span>

4�?nbsp;安装场地９�/span>1500mm×1500mm×3000mm＇�/span>D×W×H（�/span>＋�/span>安装面积大于2.5m²、�/span>