材料

固体材料，液态聚合物

尺寸（mm（�/span>

150��150��150

光束成型和控刵�/span>

脉冲选择

集成、自动控刵�/span>

扫描振镜

10m/s扫描速度�?��5

聚焦

高NA非球面镜或物镜，焦长1.45-18.4mm

SLM（选配（�/span>

1920��1080�?5.36mm��8.64mm�?6bit，反射式

位置

类型

XYZ，线性电机，交叉定位，空气轴承（选配（�/span>

加工速度

350mm/s

工作区域（mm（�/span>

160��160

分辨率（nm（�/span>

1

位置精度（nm（�/span>

��300

重复性（nm（�/span>

��50

稳定度（nm（�/span>

3

样品支架

真空夹头

激光参�?/span>

激光介�?/span>

Yb:KGW

波长

1028��5nm

功率（W（�/span>

4�?�?�?0选配（�/span>

振荡器输出功率（W（�/span>

0.7-1.5

脉冲能量（mJ（�/span>

1

重频（KHz（�/span>

200�?00�?000选配（�/span>

脉宽

<200fs-10ps（可调）：�80fs（振荡器（�/span>

光束质量

M²<1.2

输出脉冲稳定�?/span>

<1%RMS

谐波产生�?/span>

谐波

SH�?15nm），TH�?43nm）选配，FH�?58nm）选配

转换效率（@200KHz（�/span>

>50%（SH），>30%（TH）选配＋�10%（FH）选配

谐波产生�?/span>

功率控制

激光输出，电动衰减�?/span>

位移台控刵�/span>

2.5D微加工，3D XYZ指令

控制界面

算法窗口，虚拟或GUI操纵杅�/span>

图形或矢量格弎�/span>

.bmp�?plt