编号：CYYJ02832
篇名� 高性能石墨�?金字塔硅异质结近红外光探测器
作者： 周国� 蓝镇� 余浪 何峰
关键词： 石墨� 近红外光电探测器 金字塔硅 异质�
机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所 薄膜传感技术湖南省国防重点实验� 高性能智能传感器及检测系统湖南省重点实验宣�br>摘要� 石墨烯具有优异的光学性质和电学性质,在快速宽光谱光电探测方面有极大的潜力。本文设计并制备一种高性能石墨�?n型金字塔硅异质结近红外光探测器。高质量石墨烯是采用化学气相沉积法制备的,通过湿法转移将其转移到n型金字塔硅表�?从而获得具有垂直结构的石墨�?金字塔硅异质结器件。测试结果表�?在无光照条件�?器件的整流比达到�?.9×105;�?70 nm近红外光的照射下,电流开关比高达5.3×104,电流响应度、外量子效率、光电压响应度和比探测率分别可达577.6 mA·W-1�?3.97%�?.26×106V·W-1�?.92×1012Jones。此�?器件具有快的响应速度,上升和下降时间分别为22μs�?4.5μs。最�?还对器件稳定性进行研�?在空气环境中放置3个月�?光电流基本没有衰�?表明了器件具有优异的空气稳定性�