编号：NMJS07244
篇名� 碲镉汞液相外延石墨舟的温度场均匀性改�
作者： 陆骏 李东� 木胜 万志� 朱辉 薄俊� 杨岸 黄元� 王志�
关键词： 石墨� 温度场均匀� 碲镉� LPE
机构：昆明物理研究所
摘要� 对碲镉汞液相外延(Liquid phase epitaxy,LPE)石墨舟进行了数值模�?计算了石墨舟温度场分布。通过在母液周围加入石英框,分析其对温度场的影响,得到了石英框壁厚与温度分布的关系。模拟发�?在母液周围加入石英框结构,可以提高外延生长界面温度场均匀性。最�?将分析结果与实验相结�?进行实验验证,成功降低了边界效应对碲镉汞薄膜的影响,外延生长出厚度极差Δδ为1.4μm、组分极差Δx不超�?.002的长波碲镉汞薄膜�