主动消磁系统/电镜屏蔽+SPICER CONSULTING

概述９�/span>

现今的高性能电子束仪器对变化的环境磁场非常敏感。当周遭的磁场改变时会使电子显微镜的电子束产生偏折并造成影像解析度或测量精度下降、�/span>SC22系统可降低环境交流磁场并恢复分辨率和精度�

SC22主动式消磁系统主要是由磁场控制器、一或两个感测探头及三轴向多芯的线圈组成，并安装在电镜房间内以产生反向磁场并改善外部磁场问题�

系统针对外部磁场变化为自动响应，响应时间小于100微秒、�span>AC线路场（50/60 Hz）减 尐�span>50 x�

SC22无法消除电梯、火车和交通等直流电场 变化干扰源。若需要同时消除交流磁场与� 流磁场的话可以参考另一欽�span>SC24主动式消磁器、�/span>

?提供稳定磁场环境，保护电子束技术方面的 机台不受影响

?针对环境全时段监控及主动消除交流电磁�

?低消耗高性能系统

?智能用户界面自动设定系统

?�?span>50x 50/60 Hz消除2.5 Hz�?span>5000 Hz交流电场干扰

?包含�?span>3轴（X＋�span>Y＋�span>Z）系�

?**能消除高辽�span>60 mG＇�span>6.0��T）的pk-pk范围

?针对外部磁场改变的瞬间反应时间为100微秒 以内

?具备USB连接埠选项提供监控

产品安装９�/span>

SC22主动式消磁系统的线圈由一个完整回路和一段连接控制器的线路组成。完整回路创建一个区域的消除磁场，而另一段连接控制器的线�?span>(此段没有消除磁场的功胼�span>)则连接到磁场控制器。完整回路如上页国�span>1所示，�?span>1个红色，绿色和蓝色代�?span>X�?span>Y�?span>Z轴、�span>SC22线圈皃�span>X轴和Y轴完整回路长16米，Z轴回路则丹�span>20米长。若客户端有个别需求，可以定制更长的线圈来解决、�/span>

上页国�span>1的安装适用于大多数SEM机台，电子束柱通常距离房间墙壁1.5米。可以消除的**场域（动态范围）取决于完整回路线圈的尺寸和相对于电子束柱的位置。使�?span>5米的X轴和3米的Y轴完整回路以及距离壁1.5米的墙壁，动态范围约丹�span>25 mG＇�span>2.5��T（�span>pk-pk、�/span>

为了严谨地指凹�span>SC22主动式消磁器的表现，我们使用一个虚拟房间来显现SC22安装细节作为参考，如图2中所示。电子束柱在3�?#215;5籲�span> X咋�span>Y轴完整回路（在电子束柱的上方和下方交叉）咋�span>5�?#215;5籲�span> Z轴完整回路的中心。第6页的SC22规格适用于图2的安装方式、�/span>

这些被推荐使于配月�span>Gatan成像滤光片（GIF）的TEM也可搭配双回路尺寸的亥姆霍兹线圈。建议客户咨诡�span>Spicer Consulting技术支持人员，以设计出***客户需求和安装这些特殊线圈�

当房间过大或没有局部墙壁在附件时，定制的框架可用于安装亥姆霍兹线圈，如下页国�span>3所示。但框架限制了机台操作空间，因此只针对无法安装线圈在房间的地方使用。安装在框架的线圈消磁效能可能不如整间房间安装线圈的设计、�/span>

产品规格

单位Gauss� Tesla� (switchable)

FIELD CANCELLING

Components cancelledX� Y� Z fields

外部动�?*消磁能力(X & Y)NOTE 160mG (6��T)峰峰倻�span> (installation Fig. 2)

外部动�?*消磁能力(Z)NOTE 145mG (4.5��T)峰峰倻�span> (installation Fig.

消磁因子 50 X at 50/60 Hz

带宽 2.5 Hz - 5000Hz

系统1/f噪声限制低于0.1Hz< 100��G (10 nT)峰峰�

系统宽带噪声限制1��G (100pT) RMS 5 Hz -20 kHz

磁场测量和监测系�

种类显示屏幕 3.5英寸LCD TFT彩色面板

显示测量� X轴感测探�

(毎�span>0.4秒更新一欠�span>) Y轴感测探� Z轴感测探�

总向量磁场与感测探头有关

测量带宽5 Hz -20 kHz

可选读数单� mG RMS

mG pk-pk

��T RMS

��T pk-pk

nT RMS

nT pk-pk

显示范围（读数） X� Y� Z pk-pk 0 - 40.000 mG (0 - 4.0000��T) (0 -4000.0nT)

X� Y� Z RMS 0 - 20.000 mG (0 - 2.0000��T) (0 - 2000.0 nT)

TOTAL pk-pk 0 - 69.282 mG (0 - 6.9282��T) ( 0 - 6928.2 nT)

TOTAL RMS 0 - 34.641 mG (0 - 3.4641��T) ( 0 - 3464.1 nT)

精确� ��1.0 % of reading��1��G (100 pT)

感测探头宽带噪声限制1��G (100pT) RMS

磁场稳定指示� 归�span> X & Y & Z轴磁场皆< 250��GRMS，会显示绿色OK指示�

跳闸指示� 如果X�?span>Y�?span>Z轴任一轴上的磁圹�span>>250��GRMS，跳闸指示灯会亮起，

如果磁场<250��GRMS，在60秒后跳闸指示灯会消失、�/span>

X＋�span>Y＋�span>Z轴即时磁场输凹�/span>

刻度1.0 V/mG (10V/��T)

范围��12 Volts

来源阻抗�?0 k

连接� 3 x BNC

带宽5 Hz -20 kHz

电源120/240V (+10% -20%) 50/60Hz