简 介：

显微镜生成的2D图像

3D图像——扫描干涉显微镜的功胼�/p>

测量系统
测量原理	白光干涉泔�/font>
z-定位系统	Piezo 物镜调节系统
高度测量范围 垂直分辨玆�/font>	Up to 400 ��m 〇�span>1 nm
光源	LED
相机模块	CCD 782 x 582 pixel
物镜放大倍数 横向测量范围 *小分辨率	10x or 20x or 50x 649x483 um?or324x241 um?or129x96 um? 1.66?m or0.96?mor0.70?m
测量时间	<1 min
软件
smartWLI	软件用于测量地形和使用一个直接接口到MountainsMap分析软件输出�?D数据＋�/span>自动拼接模块
MountainsMap?	广泛的分析软件以及轮廓和三维可视化、测量数据预处理和后处理 DIN EN ISO粗糙度和高度的含量测定，顺序处理，测量记彔�/span>
文档格式	ASCII� SUR� BCR-STM� BMP� JPEG� TIFF