PS4L 手动探针�?/strong>

SemiProbe皃�/span>手动探针台是模块化结构设�?明显�?灵活皃�/span>300mm手动探针台。它采用亅�/span>SemiProbe****技�?/span>Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计，提供�?***的灵活性和大大地节省了设备资金费用、�/span>PS4L系列探针台满足了客户对规格参数精准的要求、�/span>.

晶圆探针系统皃�/span>PS4L系列探针台是基于SemiProbe****技�?/span>Probe System for Life (PS4L)可适应性结构而设计的。与传统的探针台相比＋�/span>SemiProbe皃�/span>PS4L系列探针台中所有的基础模块-基座，平台，卡盘，显微镜装置，显微镜移动，光学组件，操纵器等等都是可以更换的。这样的特点使得PS4L系列探针台以非常有竞争力的价格满足了多种应用需求和预算要求，为客户提供了非常经济适用以及**的解决方案。独特的模块化设计使得客户可获得测试性能精准地满足了他们的要求。更重要的是＋�/span>PS4L可随着测试环境和测试条件的改变从而轻易地进行现场升级以满足新的要求。比起传统的探针台，这样的设计理念使得即使当晶圆尺寸，自动化的程度或者测试要求发生改变时＋�/span>PS4L也无需重新更换新的平台，便可用*短的时效�?经济的费用完�?**的测诔�/span>、�/span>

SemiProbe M12探针台可有完整的整套附件可选，包括探针卡，操纵器，操纵臂和基座，探针，激光，光学部件＋�/span>CCTV系统，隔振台，暗箱等等、�/span>

产品特征和优势：

1.可现场升�?/span>＋�/span>300mm手动探针台可升级丹�/span>450mm手动探针�?/span>

2.可现场升级，300mm手动探针台可升级丹�/span>450mm半自动探针台

3.所有关键部件都是可以更换的，这样使得系统更便于配置满足各种应用需求和预算要求-无论是现在还是未�?/span>

4.软件和硬件模块提供了**性的现场升级功能

主要应用/服务市场９�/span>

设备特性，MEMS，光电，高频/微波，光伏，失效分析，光伏，材料科学筈�/span>筈�/span>

规格参数

尺寸	1200mm X 550 mm X 900 mm (47.3� X 21.6� X 35.4�? (W，H� L) � with optics
重量	250Kg (550 lbs.) - Vibration Isolation (table and frame)
卡盘平台 X-Y 移动	Severalstages to select from to meet performance and budget requirements Travel:305 mm x 305 mm Planarity:+/- 10 ��m over travel range Resolution:5 ��m IndependentX and Y linear movement
卡盘平台Z 移动	ZTravel: 10 mm ZContact/Separation Stroke: 4 mm adjustable
Theta移动	Travel:360 degrees
卡盘	Vacuumor mechanical clamping� round or square� ambient� thermal and custom Handledie� waffle packs� sawn wafers on frame� broken wafers and full wafers up to300 mm Nickelplated steel with concentric vacuum rings (standard)� other plating materialsavailable Planarity:15 ��m
压盘	Aluminumwith stainless steel top 360degree manipulator placement Manipulatorfixation � magnetic� vacuum
压盘移动	PlatenLift: Choice of fixed or adjustable Adjustable:Coarse - 25 mm� Fine � 6 mm
显微镜装�?移动	Mounting � Boom� Post or Bridge Movement � Manual or Programmable � 50 x 50 mm� 50 x 75 mm� 100 x 100 mm
光学组件	StereoZoom� Zoom Tube� A-Zoom or Compound Microscope

其它工具	Power:AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A Vacuum:23 Hg or -0.8 bar