紧凑型波前传感器

SID4波前传感器是一款结构紧凑的设备，它结合并实现了经典干涉法的优势(灵敏度、高分辨率和动态范围测量法)、�/p>

SID4的优势源自四波横向剪切干涉技�?(基于优化的哈特曼掩膜干涉光学)，它是ONERA为了计量需求研发的一种革新技术、�/span>

主要特点

?高横面分辨率(160x120)

?消色�?/p>

?接收大光谰�/p>

?强度截面测量(光束�?

?结构紧凑易于使用(电脑控制，即插即�?

?多用户，多设备接叢�/p>

?易于安装，使用软件简昒�/p>

?多种采样方式(即时，触发，软件采样�?

软件特点

相位图解释模坖�/p>

?倾斜

?分散

?Zernike多项弎�/p>

?Legendre多项弎�/p>

射束分割

?同时提供相位图和强度国�/p>

?计算M?

?斯太尔率

?远场分析�?/span>

光束图模块窗叢�/em>

符合人体工程学原琅�/p>

?软件直观

?多用户界靡�/p>

?自动分析调整

光束� (可选配)

?完整射束分割

?强度分布

?高斯拟合

参数

孔径	3.6 x 4.8 mm?
空间分辨玆�/span>	29.6?um
相位和强度采样点	160 x 120 (> 19000�?
波长	350 - 1100 nm
精度(**/相关模式)	10 nm RMS / 3 nm RMS
灵敏�?/span>	3 nm RMS
动态范図�/span>	> 100?um
曲率半径	20 mm (可�?mm)
曲率重复�?/span>	5. 10 m
数值孔徃�/span>	0.1NA f/5 (可�?.3 NA f/1.6)
分割� (全分辨率)	> 10 fps
采样频率	60 fps
尺寸(l x H x L)	49 x 35 x 110 mm
重量	250 g