高分辨紫外波前传感器

PHASICS公司将SID4产品系列扩展到UV波长。集合了PHASICS所有先进技�?4波横向剪切干涉法*)的SID4 UV-HR光谱范围�?90�?00 nm、�/p>

采样分辨率为250 x 250个测量点适合用于测量光学器件(可用于光刻、半导体�?和表面检�?例如晶片检�?、�/p>

有高灵敏度的SID4 UV-HR是具有成本效益的检测高分辨率紫外解决方案、�/span>

主要特点

?高分辨率(250 x 250)

?大孔�?8�? mm x 8�? mm)

?覆盖UV光谱

?高灵敏度(0�? nm)

?优化信噪毓�/p>

?适用于光学测野�/span>

参数

孔径	8.0 x 8.0 mm?
空间分辨玆�/span>	32?um
采样炸�/span>	250 x 250
波长	190 - 400 nm
精度 (**模式)	10 nm
灵敏�?/span>	0.5 nm
动态范図�/span>	> 200?um
曲率半径	10 mm�?�?
曲率半径灵敏�?/span>	< 5.10 m
分割频率	1 fps
采样频率	30 fps
尺寸(l x H x L)	95 x 105 x 84 mm
重量	900 g