合肥昱驰真空技术有限公司是一家致力于将国家科技部重大仪器仪表专 “超高真空大抽速磁悬浮复合分子泵“科技成果进行转化的高科技企业 自主创新研制了具有自主知识产权的超高真空大抽速磁悬浮复合分子泵,实现了磁悬浮超高真空分子泵产品的产业化生产, *终摆脱高端分子泵依赖国进口的现状 解决了磁悬浮分子泵这一关键部件对我国半导体产业的卡脖子问题、/p>