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OPTINO波前测试系统
OPTINO波前测试系统的图?/></a></div></div></div>         <div class=
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产品简今/div>
Optino 波前探测系统

不仅仅是一个波前探测系统,

更是一个完整光学综合测试系绞/p>

不仅可以用于实验室光学测试,

也可以适用于生产环境条仵/i>

可测试的光学元件和系绞/span>
  • 透镜、非球面透镜
  • 相机、手机摄像等镜头测试
  • 棱镜
  • 球面、非球面、平面镜
  • 各种滤光牆/li>
  • 隐形眼镜、眼科镜牆/li>
  • 复杂光学系统
  • 平视显示系统(HUD(/li>
  • 研磨松/li>
  • 晶圆(wafer)
  • 激先/li>
可测试评价的项目
  • 光学失常、像差测诔/li>
  • 波前或表面重廹/li>
  • 光学元件透过率测诔/li>
  • 平面度测诔/li>
  • 楔角测试
  • 复杂光学系统对准
  • 准直
  • 焦长测试
  • MTF (调制传递函数)
  • PSF (点扩散函数)
  • Strehl ratio
  • 激光光斑品质、光束、M2、发散角测试

主要型号及功能特炸/strong>

产品系列

主要特点

Omi

基于夏克-哈特?Shack-Hartmann) 原理,基本型,价格优惟/span>

Optino Uno

基于夏克-哈特?Shack-Hartmann) 原理,基本型增加一个固定的准直器,用于光源准直。具有所有光学分析所需的基本功能,包含光纤光源、/span>

  • 15 种针对不同测试需求的配置

  • 无隔行快速读 1Kx1K 相机信号

  • 固定准直器(平行光管(/span>

  • 基本的夏?哈特曼Shack-Hartmann分析功能:Zernike多项式系数、波阵面、Strehl Ratio ?

  • 软件根据测到的像散、球差等提供调校指令

  • 根据软件的图形指示,依据参照标准或镜面的CCD像面,对光学元件的焦距进行实时斜率调敳/span>

  • 图像分析功能

  • 根据Shack-Hartmann 数据计算MTF、PSF、EE等数据(可选配置)

  • 仿真模拟功能(可选配置)

Optino Pro 专业片/span>

具备Optino Uno 功能外, 增加马达驱动的准直器(平行光管),以及先进的软件功能,具备高度自动化。准直器可自动寻找焦点,也可对光束进行分析、/span>

Optino EE 工程片/span>

具备Optino Pro 所有功能,具备更强大的软件功能,并经过优化,可以使用生产环境中使用,测试速度快。采用回 环路控制,并?0Hz的采样频率进行光学质量测试、/span>

Optino+ Beam profiler 光束分析

具备Optino Pro所有功能, 另外加装第二个CCD,用于光斑形貌分析,光束失常及测量可同时在一台设备上实现、/span>

干涉仪与波前探测系统比较
Optino 波前测试系统相对于干涉仪的优炸/th>
干涉?/font> Optino 波前系统
1 购买、运行、维护费用高 非常便宜
2 系统体积大,需要大型光学平?/font> 结构紧凑,普通桌子就可以
3 需要昂贵的隔振平台 非常耐用,无需隔振,普通桌子就可以,即使重击桌子也不会影响测试结果或仪器性能
4 需要洁净宣/font> 普通干净的实验室环境足够亅/font>
5 需要控制测试现场的气流 可以在紧靠打磨机器工作现场使?/font>
6 需要激光光溏/font> 普通光源或激光均?/font>
7 由于激光波长范围有限,只能工作在有限的几个波长 任何波长均可工作,从193nm?700nm,软件功能不受波长和配置的影哌/font>
8 仅限于测试平面、球面及浅度非球面测诔/font> 可以测试深度非球面元件(球形失常值达50(/font>
9 不能测试非规则形状元仵/font> 可以测试非规则元件,如柱面镜
10 动态范围受CCD探测器上干涉条纹限制+/font> 方法本身具有高动态特?/font>
Optino Pro vs. Zygo GPI xp HR Interferometer:

通过使用Zygo GPI xp HR干涉仪和Spot-Optics公司的Optino 波前测试系统对一个硬盘上小面?7mm)区域,进行测试对比、/font>

右图白色圆圈位置的区域即为测试区域,是一个平整的表面,测试的波长?32nm,下图为主要测试得到的参数对比:

去除了倾斜(Tilt) Piston and 散焦 (defocus)影响后的表面3D形貌图( Zygo (/font> 去除了倾斜和散焦的3D表面形貌?Optino)
由上可见:基于Shack-Hartmann 测试原理的Optino 可以获得与Zygo干涉仪一致的测试结果

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