德国Diener研究型等离子清洗机Bell Jar 35

Bell Jar 35 等离子设备是一种研究设备，其专为科学试验所研发。该设备即适用于热蒸发，溅� ，电子束蒸发，SEM（扫描电子显微镜）样品制备的金属涂层，也适用于传统的等离子体工艺、�/span>

基本设备

。外壳约�?60MMx�?640MMx�?20mm

。腔室容积：�?5卆�/span>

。供电电源：230V/16A

气源

�?个质量流量控制器（MFCs（�/span>

真空腔室

。硼硅玻璃材质的玻璃罩，直径315MMx�?00MM

溅射溏�/strong>

�?个溅射源2"-3"+挡板（可为反应过程选配排烟管和进气口）

基材支架

。直�?40MM（可选择旋转型，基材加热器，基材冷却装置（�/span>

。可切换为等离子预处现的电极（清洗，活化，蚀刻）

控制系统

。PCCE控制系统（Microsoft Windows XPe（�/span>

压力测量

。Pirani

发生�?/strong>

。频率：40KHz� 功率 0-500W

13.56MHz� 功率 0-300W

。直流偏置电源或单极性脉冲，**功率300W�?*电压600V，直流电

。发生器� 0-100% 无级可调垊�/span>

真空泴�/strong>

。规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）

其它选项

备件套件，压力计，腐蚀性气体设计结构，气瓶，减压器，加热板，温度显示器，加热型腔室，Faraday Box� 等离子体聚合配件，试墨水，氧气发生器，慢速通风装置，慢速抽吸装置，TEM样品架法兰，维护/服务，当地语言的文件，现场安装，包括培训，可应需求提供的其它选项、�/span>