公司介绍

深圳市美格真空科技有限公司成立�?014年，是国内新型新能源材料真空处理设备领域的先行者之一。公司位于深圳市坪山区，专注于高温真空领域，坚持设备自主研发、技术创新，公司拥有三十多项专利技术。先行投入巨资，潜心研发新型新能源材料真空处理技术，熟悉各种新型新能源材料工艺特性，拥有一系列先进、高效、成熟的解决方案。提供从新材料试制、持续工艺改善直到完整解决方案的全方位服务。解决方案具备高度自动化、高生产效率、低能耗比及环境友好等多种具有竞争力的特点。同时拥有各类成熟产品系列应用于半导体材料、医疗器械材料、金属粉末注射成形（MIM）材料、陶瓷、国防军工及航空航天材料、�/span>

部分产品介绍

1.硅烷沉积包覆CVD真空炈�/span>

应用领域９�/span> 多孔碳材料CVD沉积，甲烷、乙炔CVD碳包覆、�/span>

工艺特点９�/span> 本设备采用粉体雾化转流化先进工艺使CVD沉积更充分；特殊的多弧形坩埚避免藏料，全范围无死角；高速的雾化及一体炉双重的工艺，使硅碳包覆更均匀�?层真空室使用硅烷气体安全得到保障、�/span>

最大产能： 200公斤/炉、�/span>

2.高真空高温回转炉

应用领域９�/span> 粉体材料真空碳包覆量产工艺、�/span>

工艺特点９�/span> 适应强腐蚀材料，真空吸料，主罐料筒旋转使材料受热均衡、快速反应充分，单独二冷罐搅拌快速冷却（生产周期� 短一半），自动卸料，析出物自动收集、�/span>

最大产能：1T/炉、�/span>

3.多腔室连续真空炉

应用领域９�/span> 粉体材料及金属制品材料脱氧、脱胶、混炼反应烧结、�/span>

工艺特点９�/span> 多腔式布局、装料容量大、工艺时间短、生产效率高，能耗低，析出物自动收集、�/span>

产能９�/span> 连续式进出料、�/span>

4.氧化亚硅（预镁气相沉积炉（�/span>

应用领域９�/span> 氧化亚硅前驱体预镁、�/span>

工艺特点９�/span> 分层放料，三温区控温（受热均匀，成品一致性好）气相仓及放料坩埚为高温合金，使用寿命长，可连续使用2年以上；有强冷装置，可快速冷却；能耗低，可�?0kWh/kg；全工艺一键启动，自动化程度高、�/span>

最大产能： 120公斤/炉、�/span>

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