中国粉体网讯 高纯氧化铝粉体具有普通氧化铝无法比拟的光、电、磁、热和机械性能，是配套航天航空、半导体、核能、新能源、冶金、生物医疗、照明、机械、化工等众多工程领域的重要新材料，是现代化工附加值最高、应用最广泛的高端材料之一� 在此背景下，中国粉体网将在山东淄博举办第三届全国高纯氧化铝粉体制备技术及应用交流大会，大会旨在搭建高纯氧化铝上下游技术交流、信息互通的沟通平台，促进我国高纯氧化铝行业技术与产业发展突破、�/strong>

仍�span style="color: rgb(255, 0, 0);">2026第三届全国高纯氧化铝粉体制备技术及应用交流大会组委会获悉，本届会议将于2026�?�?7�?/span>�?/strong>山东淄博举办、�span style="text-wrap: nowrap;">苏州锦业源自动化设备有限公司作为参展单位邀请您共同出席、�/strong>

苏州锦业源自动化设备有限公司（隶属于锦源科技控股有限公司）成立于2011�?月，是一家专业从事半导体封装、电子陶瓷（LTCC，HTCC）生产及设备代理的专业服务商，尤为擅长提供微组装整线及电子陶瓷整线工艺、生产解决方案和技术支援、�/strong>

目前，公司主要合作伙伴来自欧洲及日本，合力为业界广大客户提供一流的产品及方案，同时提供专业技术顾问，咨询服务、�/strong>

公司发展至今，培养了具备核心竞争力的人才团队，拥有具备专业素养的若干售前、售后及销售人员，可积极快速响应客户要求并提供优质、高效、称心的服务，为客户创造价值，赢得效益、�/strong>

基于客户多年来的信任及认可，我们将持续秉承技术引领方向、经验规避风险、服务决定未来、伙伴一起成�?”的宗旨，推动行业发展，精心服务用户，求是创新，更创辉煌!

产品介绍

1�?span style="text-wrap: nowrap;">全自动单晶圆清洗� AST-T02-CL

设备功能及特点：

晶圆全自动清洗机�?�?12� 共享机台，切换只需更换FOUP� Adaptor、�/p>

具备多功特性，针对不同应用，集成不同功能。具备高速离心旋转、HPC、二流体、SC1 化学清洗及能加装兆声波等功能、�/p>

适用� Particle 清洗、Flux 清洗及光阻残留清洗等制程 、�/p>

流场模拟腔体设计，独特的密封设计，为制程提供最洁净的清洗环境、�/p>

友善的软件接口，提供量产和工程安全便利的芯片制程、�/p>

2�?span style="text-wrap: nowrap;">单晶�?陶瓷片超声波光阻喷涂朹�/span>

设备功能及特点：

本机是全自动的超声波喷涂机台，可实现取片、对位、喷涂、去边、烘烤、放片等全自动作业。超声波喷涂是利用压电材料将电能转换为机械能，以震荡的方式来雾化流体，可以得到均匀且微细的涂布液滴，以温和且微细的液滴从基材正上方开始沉积涂布，阶梯覆盖率的表现更为优越，也能有效提高材料利用率。利用转速跟喷头移动速度做配合，进行连续性的旋转喷涂，可有效提高产能，更可消除一般设备来回喷涂时，因路径不同所造成的膜厚落差。并且本机采用大口径的供料流道设计，能有效避免管路堵塞的发生，减少设备停机维修时间，提高设备使用的稼动率。腔体结构导入流场数值模拟规划，用以进行优化流道几何设计，避免粒子回流污染涂布腔体、�/p>

3�?span style="text-wrap: nowrap;">高精度光刻机

设备特点:

UV-LED光源

安全又环� 无需预热冷却

选用 UV-LED 光源不再需 要预热和冷却，因� LED � 在曝光期间打开。这些因� 显着有助于相对较低的能源 消耗。LED 的使用寿命比� 统灯高出许多倍，从而降� 了更换灯泡所产生的成本� 停工、购买新灯、调整和� 理旧材料都已成为过去。使 � LED 灯箱既安全又环保� 是健康和职业安全以及环境 保护方面的重要进步、�/p>

高精度自动套刻系绞�/strong>

性能提升 品质升级

作为全场曝光系统� CI-150A/CI-200A能够一 次曝�?50mm/200mm 晶圆,此系统光均匀性已 超过95%，更能提升产 品品质。它更高的吞� 量和更低的投资成本直 接转化为更低的拥有成 本，使其成为适用于各 种光刻工艺的最佳决方案、�/p>

卓越的光均匀�?/strong>

高精� 更精凅�/strong>

采用顶部� 准系统， 选用� 清相机及大视� 镜头� 纳米级对 位承载平台以� 低频隔振系统� 在将掩模定位� 晶圆上时可实� 低至 0.5 μm � 对准精度 、�/p>

会务练�/strong>

联系人：李先甞�/p>

电话�?5563675367

邮箱�?261140559@qq.com

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