54401010

1800 gr/mm光栅，摄谱仪模式上�/span>

光谱范围９�/span>4-16.5nm (75-310eV)戕�/span>4-26nm (47-310eV)

出射端口色散９�/span>0.4-0.68nm/mm

分辨率：0.2nm

54402010

800 gr/mm光栅，摄谱仪模式上�/span>

光谱范围９�/span>10-35 nm (35�?24eV)戕�/span>10-56nm (22-124eV)

出射端口色散９�/span>1.0 � 1.14m/mm

分辨率：0.3nm

54406010

450 gr/mm光栅，摄谱仪模式上�/span>

光谱范围９�/span>16-65 nm (7�?0eV)戕�/span>

16-103nm (12-77eV)

出射端口色散９�/span>1.7�?.7m/mm

分辨率：0.5nm

光学设计

HJY平面光栅加超环面镜光路设讠�/span>

焦长

200 mm

孔径

f/17

分辨玆�/span>

低至0.2nm

波长驱动

步进电机

高真穹�/span>

10^-6mbar

真空泵法�?/span>

DN63 LF

狭缝

测微狭缝

阵列探测器法�?/span>

DN100CF/ICF152

可选项

狭缝

自动或固宙�/span>

超高真空

10^-9mbar，配夆�/span>DN100CF真空泵法兰和DN40CF真空计接叢�/span>