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| 品牌９/td> | 康帕囟/td> |
| 产地９/td> | 安徽 |
| 关注度： | 701 |
| 型号９/td> | 大口径高温高压芯片退火管式炉LFT1200C 450D254 |
非金属电热元件：其他
金属电热元件９span>其他
烧结气氛９span>其他
大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸?*尺寸?英寸）衬底退火处理，设备采用电阻丝为加热元件，保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型，保温性能好，电阻丝为内嵌式一体成型，美观、节能；该设备还集成了真空以及供气系统，满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管，满足高温工作条件，也能满足真空或者一定的正压条件实验要求，是一款洁净的大尺寸样品热处理设备、/span>
技术参数：
型号 |
LFT1200C 450D254 |
额定功率 |
13KW |
额定电压 |
380V |
**温度 |
1000ℂ/span> |
额定温度 |
900ℂ/span> |
推荐升温速率 |
10?min |
炉管尺寸 （可根据客户要求订制（/span> |
内径245*600mm（含管堵（/span> |
外型尺寸（长×深×高（/span> |
1900*700*2100mm |
控温精度 |
±1ℂ/span> |
极限真空度（选件（/span> |
1.0×10-3Pa（机械泵+分子泵） |
加热元件 |
OCr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金（/span> |
重量 |
490公斤 |
客户自配装空气开兲/span> |
40A |
流量控制器技术参数：
连接头类型：Φ6双卡套接夳/span>
流量规格?nbsp;＇/span>1000,1000＋/span>1000,1000＋/span>（/span>sccm＋/span>具体气体量程 可根据工艺要求配?/strong>
准确度：±1.5%
线性：±0.5?.5%
重复精度：?.2%
响应时间：气特性：1? Sec 电特性：10 Sec
工作压差范围?.1?.5 MPa
耐压?MPa
输入输出信号９/span>0 V ~ +5.00 V＇/span>输入阻抗大于100K＋/span>输出电流不大亍/span>3mA（/span>
电源９/span>+15 V 50 mA -15V 200 mA
工作环境温度:5ℂ/span> ~ 45ℂ/span>
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合肥康帕因设备技术有限公号/p>
91340103MA2ND12N6H
