仪器应用

l空分工艺：�/span>

l氩气纯化工厂：�/span>

l氦液化工厂；

l特气实验室；

l半导体生产制造业

仪器特点９�/span>

l纯氩或纯氦中的微量氮分析

l稳定，灵敏的等离子检测器

l固态质量流量传感控制器

l三个量程可自由选择

l低维护，持续测量准确可靠

仪器特点９�/span>

l被测组分９�/span>N2：�/span>

l测量原理：等离子法（PED）；

l测量范围９�/span>0-1ppm/10ppm/100ppm：�/span>

l重复性：<1%量程：�/span>

l精度９�/span><1%量程：�/span>

l漂移９�/span><1%量程/24小时：�/span>

l数字输出９�/span>1路系统状态，3路量程，1路校准；

l输出９�/span>4-20mA独立输出：�/span>

l显示９�/span>TFT智能触摸液晶显示屏；

l样气压力９�/span>10-25 PSIG：�/span>

l串行通讯９�/span>RS232，RS485，Profibus