编号：NMJS00028
篇名� CVD法合成的无定型纳米粉体的晶化
作者： 陆忠� 江东� 谭寿� 严东�
关键词：化学气相沉积法，纳米，晶化，无定型，碳化�
机构：中国科学院上海硅酸盐研究所
摘要� 以六甲基二硅氨烷(HMDS)为原料，采用CVD方法，在不同温度下合成的粉体，经XRD测定，确定为无定�?经不同温度晶化处理后，发�?000℃时合成粉体随着晶化温度的提高，颗粒长大并变长，接近哑铃�?�?500℃晶化处理后，颗粒呈晶须状，而经1600℃处理后才完全晶�? 粉体则随着晶化处理温度的提高，局部的颗粒长大，温度愈高，长大的颗粒愈?�?500℃晶化处理后，从XRD，TEM及HREM可以看出粉体全部晶化，颗粒的结晶已非常完整，晶格网络清晰可见，颗粒度约为20�?0nm，外表面有一�?�?nm的膜包裹.