ã€åŽŸåˆ›ã€ü/font>金刚çŸ?ç¢³åŒ–ç¡…ï¼šæ•£çƒ­ç•Œé¡¶é…æ­æ¡¢ü/h1>


æ¥æºï¼™ü/span>ä¸­å›½ç²‰ä½“ç½ çŸ³è¯­

[导读]金刚石铜ç«äº†ï¼Œé‡‘刚石碳化硅å¯ä»¥å—>ü/div>

中国粉体网讯éšç€ç”µå­è®¾å¤‡çš„集æˆçº¿è·¯è¶Šæ¥è¶Šå¤æ‚ï¼ŒèŠ¯ç‰‡ä½“ç§¯ä¸æ–­ç¼©å°ï¼Œè¿è¡Œè¿‡ç¨‹ä¸­ç§¯ç´¯è¿‡å¤šçƒ­é‡ï¼Œå¯¼è‡´è®¾å¤‡æ€§èƒ½ä¸‹é™ï¼Œç”šè‡³ä¼šå‡ºçŽ°çŸ­è·¯ç­‰æ•…éšœã€‚ä¸ºäº†ç¡®ä¿ç”µå­è®¾å¤‡ç¨³å®šã€å®‰å…¨å’Œé«˜æ•ˆåœ°è¿è¡Œï¼Œå¼€å‘具有高导热系数和低热膨胀系数ã€å¯†åº¦ä½Žã€æŠ—弯强度优异的å°è£…ææ–™æˆä¸ºç ”究焦点ã€ü/p>


01 金刚çŸ?碳化硅:强强è”åˆçš„çƒ­ç®¡ç†ææ–™


金刚石是目å‰äººç±»å·²çŸ¥çƒ­å¯¼çŽ‡æœ€é«˜çš„å¤©ç„¶ç‰©è´¨ï¼Œå†åŠ ä¸Šè†¨èƒ€ç³»æ•°ä½Žã€å¼ºåº¦å’Œç¡¬åº¦é«˜ã€åŒ–学稳定性好,使其æˆä¸ºç†æƒ³çš„çƒ­ç®¡ç†ææ–™ã€‚è€Œç¢³åŒ–ç¡…ä¹Ÿå…·æœ‰è¾ƒä½Žçš„çƒ­è†¨èƒ€ç³»æ•°ã€ä¼˜è‰¯çš„导热性能等一系列优异性质,将金刚石作为一ç§å¢žå¼ºç›¸ä¸Žç¢³åŒ–硅相结åˆï¼Œå¯å®žçŽ°çƒ­è†¨èƒ€ç³»æ•°å¯è°ƒã€é«˜å¯¼çƒ­çš„金刚石/碳化硅å¤åˆææ–™ã€‚相较于金刚石增强的金属基å¤åˆææ–™ï¼Œé‡‘åˆšçŸ³ä¸Žç¢³åŒ–ç¡…çš„ç»“æž„ç›¸ä¼¼ï¼Œæ¶¦æ¹¿æ€§ä¸Žçƒ­è†¨èƒ€åŒ¹é…æ€§è¦æ¯”金属与金刚石好得多ã€ü/p>


金刚çŸ?碳化硅å¤åˆææ–™ï¼Œå›¾æºï¼šCoherent官网


02 金刚çŸ?碳化硅å¤åˆææ–™åˆ¶å¤‡å·¥è‰¹ü/span>


金刚石在高温下容易å‘生石墨化,转化åŽçš„石墨和金刚石相比,热导率和抗弯强度都会大大é™ä½Žã€‚为了æˆåŠŸåˆ¶å¤‡å‡ºé‡‘åˆšçŸ?碳化硅å¤åˆææ–™å°±å¿…é¡»ä¿è¯æœ‰æ•ˆçš„æŽ§åˆ¶é‡‘刚石石墨化。而碳化硅基体无法直接渗入金刚石制备的å¯ä½“中,因此碳化硅基体往往是通过硅碳å应获得。根æ®ç¢³åŒ–ç¡…åŸºä½“çš„ç”Ÿæˆæ–¹å¼ï¼Œå¯ä»¥å°†é‡‘刚石/碳化硅å¤åˆææ–™çš„制备工艺大致分为以下几ç§ã€ü/p>


�)高温高压烧结法


高温高压烧结法(HPHT)是把金刚石微粉和纯硅粉充分混åˆå‡åŒ€åŽåœ¨é«˜æ¸©å’Œé«˜åŽ‹ä¸‹è¿›è¡ŒåŽŸä½å应生æˆç¢³åŒ–硅,最终得到金刚石/碳化硅å¤åˆææ–™ã€‚è¯¥æ–¹æ³•ä¼˜ç‚¹åœ¨äºŽåœ¨é«˜åŽ‹çŽ¯å¢ƒä¸‹çƒ§ç»“ï¼Œé‡‘åˆšçŸ³ä¸æ˜“å‘ç”Ÿæ˜Žæ˜¾çš„çŸ³å¢¨åŒ–ï¼ŒåŒæ—¶å¯ä»¥æœ‰æ•ˆé™ä½Žé‡‘刚石颗粒之间的间隙,制备出高金刚石体积分数ã€é«˜è‡´å¯†åº¦çš„å¤åˆææ–™ï¼›ä½†é«˜åŽ‹å·¥è‰ºå¯¹è®¾å¤‡è¦æ±‚å¾ˆé«˜ï¼Œæˆæœ¬ä¹Ÿè¾ƒé«˜ï¼Œä¸”制备的å¤åˆææ–™å½¢çжå—到很大é™åˆ¶ã€ü/p>


ï¼?)放电等离å­çƒ§ç»“æ³”ü/strong>


放电等离å­çƒ§ç»“(SPSï¼‰å’Œé«˜æ¸©é«˜åŽ‹çƒ§ç»“æ³•ç±»ä¼¼ï¼ŒåŒæ ·æ˜¯é€šè¿‡é«˜æ¸©é«˜åŽ‹çš„æ–¹å¼å¯¹å¯ä½“进行烧结和致密,两者区别在于SPS是利用高能电ç«èŠ±åœ¨ç²‰ä½“ä¹‹é—´çž¬é—´æ”¾ç”µäº§ç”Ÿé«˜æ¸©ç­‰ç¦»å­ä½“放出巨大热é‡ï¼Œå› æ­¤å…¶å…·æœ‰å‡æ¸©é€Ÿåº¦å¿«ã€çƒ§ç»“时间短等特点。å¦å¤–,SPS烧结压力比高温高压烧结法低ã€ü/p>


ï¼?)热等é™åŽ‹çƒ§ç»“æ³•


热等é™åŽ‹ï¼ˆHIP)工艺是将金刚石和硅粉放置于密闭容器中,施以å„å‘åŒç­‰çš„åŽ‹åŠ›ï¼ŒåŒæ—¶åœ¨é«˜æ¸©ä½œç”¨ä¸‹å®Œæˆææ–™çƒ§ç»“和致密化。热等é™åŽ‹çš„åŽ‹åŠ›é€šå¸¸åœ¨å‡ ç™¾å…†å¸•èŒƒå›´å†…ï¼Œå…¶ä¼˜ç‚¹æ˜¯çƒ§ç»“åŽ‹åŠ›è¾ƒä½Žï¼Œèƒ½åˆ¶å¤‡è¾ƒå¤§ä½“ç§¯å’Œå½¢çŠ¶å¤æ‚的样å“ï¼Œä½†åˆ¶å¤‡å·¥è‰ºå¤æ‚,生产效率低ã€ü/p>


ï¼?)先驱体转化泔ü/strong>


先驱体转化法(PIP)是利用碳化硅先驱体(èšç¢³ç¡…烷)加热裂解åŽç”Ÿæˆç¢³åŒ–硅,并将热解åŽçš„碳化硅作为基体,将金刚石颗粒连接起æ¥ã€‚该工艺优点是烧结温度低,å¯åˆ¶å¤‡å¤§å°ºå¯¸æˆ–夿‚形状样å“,å¤åˆææ–™ä¸­æ— ç¡…的残留,但由于先驱体的转化率较低,往往需è¦å¤šæ¬¡å¾ªçޝæé«˜è‡´å¯†åº¦ã€ü/p>


ï¼?ï¼‰åŒ–å­¦æ°”ç›¸æ¸—é€æ³•


åŒ–å­¦æ°”ç›¸æ¸—é€æ³•(CVI)是一ç§ç›¸å¯¹æ¸©å’Œçš„å·¥è‰ºï¼Œåœ¨è¾ƒä½Žçš„æ¸—é€æ¸©åº¦ä¸‹é‡‘刚石颗粒å¯ä»¥ä¿æŒç¨³å®šçжæ€ï¼Œé¿å…çŸ³å¢¨åŒ–ã€‚ä¸Žå…¶ä»–æŠ€æœ¯ç›¸æ¯”ï¼Œç¢³åŒ–ç¡…ç›¸æ¥æºäºŽåŒ–å­¦æ°”ç›¸æ²‰ç§¯åœ¨ææ–™è¡¨é¢ï¼Œå› æ­¤å¤åˆææ–™ä¸­çš„硅相å¯ä»¥åœ¨CVI过程完全消除。该工艺制备的å¤åˆææ–™è‡´å¯†åº¦è¾ƒä½Žï¼Œå¹¶ä¸”通常用æ¥åˆ¶å¤‡è–„片状样å“ã€ü/p>


�)熔渗法


熔渗法(RI)是通过加热将固体èžåŒ–,并渗入制备好的预制å¯ä½“中的一ç§è‡´å¯†åŒ–工艺。根æ®å¢žå¼ºç›¸å’ŒåŸºä½“的润湿性ä¸åŒï¼Œå¯é€‰æ‹©åŽ‹åŠ›ç†”æ¸—å’Œæ— åŽ‹ç†”æ¸—ã€ü/p>



将金刚石颗粒和石墨粉混åˆå‡åŒ€ï¼Œä½¿ç”¨æ ‘脂作为粘结剂,采用冷压或热压æˆåž‹ï¼Œåˆ¶å¤‡å‡ºå¯ä½“。然åŽå°†å¯ä½“è¿›è¡Œè„±è„‚è£‚è§£ï¼Œä½¿ç²˜ç»“å‰‚å®Œå…¨ç¢³åŒ–ï¼ŒåŒæ—¶æé«˜å¯ä½“孔隙率。最åŽåœ¨çœŸç©ºæˆ–惰性气体环境下加热进行渗硅。熔渗过程中,液æ€ç¡…会与热解碳和加入的石墨粉å‘生å应生æˆç¢³åŒ–硅,碳å应完æˆåŽï¼Œå¯ä½“中剩余的孔隙被液æ€ç¡…填充,形æˆè‡´å¯†çš„金刚çŸ?碳化硅å¤åˆææ–™ã€‚与其他工艺相比,熔渗法ä¸éœ€è¦å¤æ‚的过程和昂贵的设备,制备工艺简å•,å´å¯ä»¥å®žçްå¤åˆææ–™çš„近净尺寸æˆåž‹ã€ü/p>


03 相关ä¼ä¸šå¸ƒå±€æƒ…况


2025å¹?月,美国Coherent(高æ„)推出了金刚石/碳化硅陶瓷å¤åˆææ–™ï¼Œçƒ­å¯¼çŽ‡çº¦800 W/(m·K)ï¼Œæ˜Žæ˜¾é«˜äºŽä¼ ç»Ÿé“œææ–™ï¼Œåœ¨ä¿æŒè¾ƒé«˜å¯¼çƒ­èƒ½åŠ›çš„åŒæ—¶æé«˜ç»“构稳定性,并且其热膨胀系数与硅高度匹é…,å¯ç›´æŽ¥é€‚é…åŠå¯¼ä½“器件å°è£…ã€ü/p>


2026å¹?月,国内ä¼ä¸šé»„河旋风自主研å‘的“金刚石-碳化硅å¤åˆææ–™â€é¡¹ç›®å–å¾—é˜¶æ®µæ€§æˆæžœï¼Œææ–™çƒ­å¯¼çއçªç ?00 W/(m·K),热膨胀系数达到2.6 ppm/℃,与芯片硅衬底热膨胀系数2.5 ppm/℃高度匹é…,æˆåŠŸè§£å†³äº†å›°æ‰°åŠå¯¼ä½“行业多年的热膨胀失é…难题ã€ü/p>


è”åˆç²¾å¯†çš„金刚石-碳化硅å¤åˆé™¶ç“·äº§å“通过原ä½å应形æˆå¼ºå…±ä»·é”®ç•Œé¢ï¼Œå…¼å…·è¶…高导热与å¯è°ƒçƒ­è†¨èƒ€ç³»æ•°ï¼Œä¸ŽèŠ¯ç‰‡å®Œç¾ŽåŒ¹é…,显著é™ä½Žçƒ­åº”力ã€ü/p>


å¦å¤–,安徽尚欣晶工对金刚çŸ?碳化硅å¤åˆææ–™ä¹Ÿæœ‰ç ”究,其掌æ¡è¿‘净æˆå½¢è–„片ã€å…­é¢é•€é“œæŠ€æœ¯ã€é‡‘åˆšçŸ³å®šå‘æŽ’åˆ—æŠ€æœ¯ã€å¼‚å½¢ææ–™åˆ¶å¤‡æŠ€æœ¯ç­‰ï¼Œèƒ½ç›´æŽ¥æˆåž‹è–„片金刚çŸ?铜ã€é‡‘刚石/é“和金刚çŸ?ç¢³åŒ–ç¡…ç­‰é«˜å¯¼çƒ­ææ–™ã€ü/p>


å‚è€ƒæ¥æºï¼š

[1]洪天祥:金刚çŸ?碳化硅å¤åˆææ–™åˆ¶å¤‡åŠæ€§èƒ½ç ”ç©¶

[2]å¼ å­å»ºï¼šåŒè¿žé€šé‡‘刚石ï¼ç¢³åŒ–ç¡…å¤åˆææ–™çš„设计与制备

[3]朱万利等:金刚石/碳化硅å¤åˆææ–™çš„研究进展

[4]Coherentã€é»„河旋风ã€ç£¨æ–™ç£¨å…¶ü/p>


(中国粉体网编辑整ç†/石语(ü/p>

注:图片éžå•†ä¸šç”¨é€”,存在侵æƒè¯·å‘ŠçŸ¥åˆ é™¤ï¼


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