ä¸å›½ç²‰ä½“网讯éšç€ç”µå设备的集æˆçº¿è·¯è¶Šæ¥è¶Šå¤æ‚ï¼ŒèŠ¯ç‰‡ä½“ç§¯ä¸æ–缩å°ï¼Œè¿è¡Œè¿‡ç¨‹ä¸ç§¯ç´¯è¿‡å¤šçƒé‡ï¼Œå¯¼è‡´è®¾å¤‡æ€§èƒ½ä¸‹é™ï¼Œç”šè‡³ä¼šå‡ºçްçŸè·¯ç‰æ•…障。为了确ä¿ç”µå设备稳定ã€å®‰å…¨å’Œé«˜æ•ˆåœ°è¿è¡Œï¼Œå¼€å‘具有高导çƒç³»æ•°å’Œä½Žçƒè†¨èƒ€ç³»æ•°ã€å¯†åº¦ä½Žã€æŠ—弯强度优异的å°è£…ææ–™æˆä¸ºç ”究焦点ã€ü/p>
01 金刚çŸ?碳化硅:强强è”åˆçš„çƒç®¡ç†ææ–™
金刚石是目å‰äººç±»å·²çŸ¥çƒå¯¼çŽ‡æœ€é«˜çš„å¤©ç„¶ç‰©è´¨ï¼Œå†åŠ ä¸Šè†¨èƒ€ç³»æ•°ä½Žã€å¼ºåº¦å’Œç¡¬åº¦é«˜ã€åŒ–å¦ç¨³å®šæ€§å¥½ï¼Œä½¿å…¶æˆä¸ºç†æƒ³çš„çƒç®¡ç†ææ–™ã€‚而碳化硅也具有较低的çƒè†¨èƒ€ç³»æ•°ã€ä¼˜è‰¯çš„å¯¼çƒæ€§èƒ½ç‰ä¸€ç³»åˆ—优异性质,将金刚石作为一ç§å¢žå¼ºç›¸ä¸Žç¢³åŒ–硅相结åˆï¼Œå¯å®žçްçƒè†¨èƒ€ç³»æ•°å¯è°ƒã€é«˜å¯¼çƒçš„金刚石/碳化硅å¤åˆææ–™ã€‚相较于金刚石增强的金属基å¤åˆææ–™ï¼Œé‡‘刚石与碳化硅的结构相似,润湿性与çƒè†¨èƒ€åŒ¹é…æ€§è¦æ¯”金属与金刚石好得多ã€ü/p>

金刚çŸ?碳化硅å¤åˆææ–™ï¼Œå›¾æºï¼šCoherent官网
02 金刚çŸ?碳化硅å¤åˆææ–™åˆ¶å¤‡å·¥è‰¹ü/span>
金刚石在高温下容易å‘生石墨化,转化åŽçš„石墨和金刚石相比,çƒå¯¼çŽ‡å’ŒæŠ—å¼¯å¼ºåº¦éƒ½ä¼šå¤§å¤§é™ä½Žã€‚为了æˆåŠŸåˆ¶å¤‡å‡ºé‡‘åˆšçŸ?碳化硅å¤åˆææ–™å°±å¿…é¡»ä¿è¯æœ‰æ•ˆçš„æŽ§åˆ¶é‡‘åˆšçŸ³çŸ³å¢¨åŒ–ã€‚è€Œç¢³åŒ–ç¡…åŸºä½“æ— æ³•ç›´æŽ¥æ¸—å…¥é‡‘åˆšçŸ³åˆ¶å¤‡çš„å¯ä½“ä¸ï¼Œå› æ¤ç¢³åŒ–硅基体往往是通过硅碳ååº”èŽ·å¾—ã€‚æ ¹æ®ç¢³åŒ–ç¡…åŸºä½“çš„ç”Ÿæˆæ–¹å¼ï¼Œå¯ä»¥å°†é‡‘刚石/碳化硅å¤åˆææ–™çš„åˆ¶å¤‡å·¥è‰ºå¤§è‡´åˆ†ä¸ºä»¥ä¸‹å‡ ç§ã€ü/p>
�)高温高压烧结法
高温高压烧结法(HPHT)是把金刚石微粉和纯硅粉充分混åˆå‡åŒ€åŽåœ¨é«˜æ¸©å’Œé«˜åŽ‹ä¸‹è¿›è¡ŒåŽŸä½å应生æˆç¢³åŒ–硅,最终得到金刚石/碳化硅å¤åˆææ–™ã€‚è¯¥æ–¹æ³•ä¼˜ç‚¹åœ¨äºŽåœ¨é«˜åŽ‹çŽ¯å¢ƒä¸‹çƒ§ç»“ï¼Œé‡‘åˆšçŸ³ä¸æ˜“å‘ç”Ÿæ˜Žæ˜¾çš„çŸ³å¢¨åŒ–ï¼ŒåŒæ—¶å¯ä»¥æœ‰æ•ˆé™ä½Žé‡‘刚石颗粒之间的间隙,制备出高金刚石体积分数ã€é«˜è‡´å¯†åº¦çš„å¤åˆææ–™ï¼›ä½†é«˜åŽ‹å·¥è‰ºå¯¹è®¾å¤‡è¦æ±‚å¾ˆé«˜ï¼Œæˆæœ¬ä¹Ÿè¾ƒé«˜ï¼Œä¸”制备的å¤åˆææ–™å½¢çжå—到很大é™åˆ¶ã€ü/p>
ï¼?)放电ç‰ç¦»å烧结泔ü/strong>
放电ç‰ç¦»å烧结(SPSï¼‰å’Œé«˜æ¸©é«˜åŽ‹çƒ§ç»“æ³•ç±»ä¼¼ï¼ŒåŒæ ·æ˜¯é€šè¿‡é«˜æ¸©é«˜åŽ‹çš„æ–¹å¼å¯¹å¯ä½“进行烧结和致密,两者区别在于SPS是利用高能电ç«èŠ±åœ¨ç²‰ä½“ä¹‹é—´çž¬é—´æ”¾ç”µäº§ç”Ÿé«˜æ¸©ç‰ç¦»å体放出巨大çƒé‡ï¼Œå› æ¤å…¶å…·æœ‰å‡æ¸©é€Ÿåº¦å¿«ã€çƒ§ç»“æ—¶é—´çŸç‰ç‰¹ç‚¹ã€‚å¦å¤–,SPS烧结压力比高温高压烧结法低ã€ü/p>
ï¼?)çƒç‰é™åŽ‹çƒ§ç»“æ³•
çƒç‰é™åŽ‹ï¼ˆHIP)工艺是将金刚石和硅粉放置于密é—容器ä¸ï¼Œæ–½ä»¥å„å‘åŒç‰çš„åŽ‹åŠ›ï¼ŒåŒæ—¶åœ¨é«˜æ¸©ä½œç”¨ä¸‹å®Œæˆææ–™çƒ§ç»“和致密化。çƒç‰é™åŽ‹çš„åŽ‹åŠ›é€šå¸¸åœ¨å‡ ç™¾å…†å¸•èŒƒå›´å†…ï¼Œå…¶ä¼˜ç‚¹æ˜¯çƒ§ç»“åŽ‹åŠ›è¾ƒä½Žï¼Œèƒ½åˆ¶å¤‡è¾ƒå¤§ä½“ç§¯å’Œå½¢çŠ¶å¤æ‚çš„æ ·å“ï¼Œä½†åˆ¶å¤‡å·¥è‰ºå¤æ‚,生产效率低ã€ü/p>
ï¼?)先驱体转化泔ü/strong>
先驱体转化法(PIP)是利用碳化硅先驱体(èšç¢³ç¡…çƒ·ï¼‰åŠ çƒè£‚è§£åŽç”Ÿæˆç¢³åŒ–硅,并将çƒè§£åŽçš„碳化硅作为基体,将金刚石颗粒连接起æ¥ã€‚该工艺优点是烧结温度低,å¯åˆ¶å¤‡å¤§å°ºå¯¸æˆ–夿‚å½¢çŠ¶æ ·å“,å¤åˆææ–™ä¸æ— 硅的残留,但由于先驱体的转化率较低,往往需è¦å¤šæ¬¡å¾ªçޝæé«˜è‡´å¯†åº¦ã€ü/p>
ï¼?ï¼‰åŒ–å¦æ°”ç›¸æ¸—é€æ³•
åŒ–å¦æ°”ç›¸æ¸—é€æ³•(CVI)是一ç§ç›¸å¯¹æ¸©å’Œçš„å·¥è‰ºï¼Œåœ¨è¾ƒä½Žçš„æ¸—é€æ¸©åº¦ä¸‹é‡‘刚石颗粒å¯ä»¥ä¿æŒç¨³å®šçжæ€ï¼Œé¿å…çŸ³å¢¨åŒ–ã€‚ä¸Žå…¶ä»–æŠ€æœ¯ç›¸æ¯”ï¼Œç¢³åŒ–ç¡…ç›¸æ¥æºäºŽåŒ–妿°”ç›¸æ²‰ç§¯åœ¨ææ–™è¡¨é¢ï¼Œå› æ¤å¤åˆææ–™ä¸çš„硅相å¯ä»¥åœ¨CVI过程完全消除。该工艺制备的å¤åˆææ–™è‡´å¯†åº¦è¾ƒä½Žï¼Œå¹¶ä¸”通常用æ¥åˆ¶å¤‡è–„ç‰‡çŠ¶æ ·å“ã€ü/p>
�)熔渗法
熔渗法(RIï¼‰æ˜¯é€šè¿‡åŠ çƒå°†å›ºä½“èžåŒ–,并渗入制备好的预制å¯ä½“ä¸çš„一ç§è‡´å¯†åŒ–å·¥è‰ºã€‚æ ¹æ®å¢žå¼ºç›¸å’ŒåŸºä½“的润湿性ä¸åŒï¼Œå¯é€‰æ‹©åŽ‹åŠ›ç†”æ¸—å’Œæ— åŽ‹ç†”æ¸—ã€ü/p>

将金刚石颗粒和石墨粉混åˆå‡åŒ€ï¼Œä½¿ç”¨æ ‘脂作为粘结剂,采用冷压或çƒåŽ‹æˆåž‹ï¼Œåˆ¶å¤‡å‡ºå¯ä½“。然åŽå°†å¯ä½“è¿›è¡Œè„±è„‚è£‚è§£ï¼Œä½¿ç²˜ç»“å‰‚å®Œå…¨ç¢³åŒ–ï¼ŒåŒæ—¶æé«˜å¯ä½“å”隙率。最åŽåœ¨çœŸç©ºæˆ–æƒ°æ€§æ°”ä½“çŽ¯å¢ƒä¸‹åŠ çƒè¿›è¡Œæ¸—硅。熔渗过程ä¸ï¼Œæ¶²æ€ç¡…会与çƒè§£ç¢³å’ŒåŠ å…¥çš„çŸ³å¢¨ç²‰å‘生å应生æˆç¢³åŒ–硅,碳å应完æˆåŽï¼Œå¯ä½“ä¸å‰©ä½™çš„å”隙被液æ€ç¡…填充,形æˆè‡´å¯†çš„金刚çŸ?碳化硅å¤åˆææ–™ã€‚与其他工艺相比,熔渗法ä¸éœ€è¦å¤æ‚的过程和昂贵的设备,制备工艺简å•,å´å¯ä»¥å®žçްå¤åˆææ–™çš„近净尺寸æˆåž‹ã€ü/p>
03 相关ä¼ä¸šå¸ƒå±€æƒ…况
2025å¹?月,美国Coherent(高æ„)推出了金刚石/碳化硅陶瓷å¤åˆææ–™ï¼Œçƒå¯¼çŽ‡çº¦800 W/(m·K)ï¼Œæ˜Žæ˜¾é«˜äºŽä¼ ç»Ÿé“œææ–™ï¼Œåœ¨ä¿æŒè¾ƒé«˜å¯¼çƒèƒ½åŠ›çš„åŒæ—¶æé«˜ç»“构稳定性,并且其çƒè†¨èƒ€ç³»æ•°ä¸Žç¡…高度匹é…,å¯ç›´æŽ¥é€‚é…åŠå¯¼ä½“器件å°è£…ã€ü/p>
2026å¹?月,国内ä¼ä¸šé»„æ²³æ—‹é£Žè‡ªä¸»ç ”å‘的“金刚石-碳化硅å¤åˆææ–™â€é¡¹ç›®å–å¾—é˜¶æ®µæ€§æˆæžœï¼Œææ–™çƒå¯¼çއçªç ?00 W/(m·K),çƒè†¨èƒ€ç³»æ•°è¾¾åˆ°2.6 ppm/℃,与芯片硅衬底çƒè†¨èƒ€ç³»æ•°2.5 ppm/℃高度匹é…,æˆåŠŸè§£å†³äº†å›°æ‰°åŠå¯¼ä½“行业多年的çƒè†¨èƒ€å¤±é…难题ã€ü/p>
è”åˆç²¾å¯†çš„金刚石-碳化硅å¤åˆé™¶ç“·äº§å“通过原ä½å应形æˆå¼ºå…±ä»·é”®ç•Œé¢ï¼Œå…¼å…·è¶…高导çƒä¸Žå¯è°ƒçƒè†¨èƒ€ç³»æ•°ï¼Œä¸ŽèŠ¯ç‰‡å®Œç¾ŽåŒ¹é…,显著é™ä½Žçƒåº”力ã€ü/p>
å¦å¤–,安徽尚欣晶工对金刚çŸ?碳化硅å¤åˆææ–™ä¹Ÿæœ‰ç ”究,其掌æ¡è¿‘净æˆå½¢è–„片ã€å…é¢é•€é“œæŠ€æœ¯ã€é‡‘åˆšçŸ³å®šå‘æŽ’åˆ—æŠ€æœ¯ã€å¼‚å½¢ææ–™åˆ¶å¤‡æŠ€æœ¯ç‰ï¼Œèƒ½ç›´æŽ¥æˆåž‹è–„片金刚çŸ?铜ã€é‡‘刚石/é“和金刚çŸ?碳化硅ç‰é«˜å¯¼çƒææ–™ã€ü/p>
å‚è€ƒæ¥æºï¼š
[1]洪天祥:金刚çŸ?碳化硅å¤åˆææ–™åˆ¶å¤‡åŠæ€§èƒ½ç ”ç©¶
[2]å¼ å建:åŒè¿žé€šé‡‘刚石ï¼ç¢³åŒ–ç¡…å¤åˆææ–™çš„设计与制备
[3]朱万利ç‰ï¼šé‡‘刚石/碳化硅å¤åˆææ–™çš„ç ”ç©¶è¿›å±•
[4]Coherentã€é»„河旋风ã€ç£¨æ–™ç£¨å…¶ü/p>
(ä¸å›½ç²‰ä½“网编辑整ç†/石è¯ï¼ˆü/p>
注:图片éžå•†ä¸šç”¨é€”,å˜åœ¨ä¾µæƒè¯·å‘ŠçŸ¥åˆ 除ï¼















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