AFM-SEM 同步联用技术（通用版）

产品简今�/span>

革命性的原子力显微镜（AFM），可实现与扫描电子显微镜（SEM）的无缝集成，为原位关联显微镜开辟新可能、�/p>

凭借优化设计，LiteScope AFM 兼容赛默飞世尔、TESCAN、蔡司、日立、JEOL 等主流品� SEM 系统及其配件，其他品牌电镜亦可定制适配、�/p>

测量模式９�/p>

• 机械性能：AFM，能量耗散，相位成僎�/p>

• 电性能：C-AFM、KPFM、EFM、STM

• 磁性能：MFM

• 电机械性：PFM

• 光谱学：F-z

曲线，I-V 曲线

• 相关性分析：CPEM

AFM-SEM 同步联用技术（通用版）

实用特点

• 原位样品表征

� SEM 内部的原位条件下确保样品分析同时、同地、同条件下进行，并且在飞纳电镜内部也能实现原子级分辨玆�/span>

• 精确定位感兴趣区埞�/span>

  SEM � AFM 原位联用，保证了同一时间、同一地点和相同条件下的分�使用 SEM 画面，实时观测探针与样品的相对位置，为探针提供导航，精准定位

• 实现复杂的样品分析需汁�/span>

  提供电气、磁学、光谱等多种测量模式，且能同一位置直接联用 SEM � EDS 功能。同时获� AFM � SEM 数据，并将其无缝关联

应用案例

钢和合金的复合分枏�/span>

利用原子力显微镜对双相钢进行复合分析，揭示了表面形貌（AFM）、铁氧体晶粒的磁畴结构（MFM）、晶粒相比（SEM）和表面电位杂质开尔文探针力显微分析法�• 相关多模态分析揭示了复杂的性质• 扫描电镜精确定位 ROI，AFM 综合分析

电池的原位表�

固态电池（SSB）比锂离子电池显示出更高的能量密度、更长的寿命和更好的安全性。由锂镍锰钴氧化物（NMC）颗粒组成的正极胶带在手套箱�经过 200 个周期后被打开，原位切割并使用 AFM-in-SEM 测量�

样品提供� Aleksandr Kondrakov, BELLA (DEU)

•� CAM 横截面处对局部电导率（C-AFM）进行表�?/span>

•无需空气暴露即可原位制备敏感 CAM

纳米线的先进表征

悬挂蜘蛛丝纳米线因其独特的机械性能而被研究，通过超精确定位AFM尖端在悬挂的纳米线上。力-距离光谱学使得确定纳米线的弹性和塑�变形成为可能�

样品提供� Linnea Gustafsson, KTH (SWE)、�/span>

• SEM� 精确定位 AFM 尖端和纳米线变形的实时观寞�/span>

• 分析属性如杨氏模量和抗拉强�?/span>

选配仵�/span>

纳米压痕模块

纳米压痕模块能够在使用超高倍数扫描电子显微镜观察样品的同时�行微机械实验，并利用 LiteScope 以亚纳米级分辨率对压痕样品进�分析

NenoCase 与数码相�

在环境条件或不同气氛下将 LiteScope 作为独立 AFM 使用，通过数码相机精确导航探针、�/span>

样品旋转模块

适用� FIB 后进� AFM 分析。此外还允许同时安装多个样品实现在不打开 SEM 腔室的情况下即可对多个样品进行测试、�/span>