编号：FTJS08489
篇名� 化学气相沉积合成石英玻璃中二氧化硅团簇形成分子动力学模拟
作者： 周鸣� 黄耀�
关键词： 二氧化硅 团簇 气相成核 分子动力学模� REAXFF
机构：苏州大学能源学陡�br>摘要� 本文采用ReaxFF力场开展气相SiO2分子冷却形成团簇过程的分子动力学模拟,研究讨论了体系在初始温度�?500K�?414K�?326K�?经过1000K下降后的成核过程,结果表明在一定温度和压力条件下分子自发形成团簇是可以发生�?团簇形成过程是由Si-O键断裂开�?经历分子吸附后不断长�?这个过程伴随着能量及饱和比的突变�