超声波精细雾化抛光石英玻璃的抛光液研刵/div>
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2022-01-18
编号:FTJS08897
篇名 超声波精细雾化抛光石英玻璃的抛光液研
作者: 苑晓 李庆 杨思远
关键词: 化学机械抛光 精细雾化 石英玻璃 抛光 正交试验
机构:江南大学机械工程学陡br>摘要 为了配制适用于JGS1光学石英玻璃超声波精细雾化抛光的特种抛光?以材料去除率和表面粗糙度为评价指?设计正交试验探究抛光液中各组分含量对雾化抛光效果的影?并对材料去除机制进行简要分析。结果表昍各因素对材料去除率的影响程度由大到小分别为SiO2、pH值、络合剂、助溶剂和表面活性剂,对表面粗糙度影响程度的顺序为SiO2、表面活性剂、pH值、助溶剂和络合剂;当磨料SiO2质量分数?9%,络合剂柠檬酸质量分数?4%,助溶剂碳酸胍质量分数?2%,表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮质量分数为09%,pH值为11?雾化抛光效果最?材料去除率为1695 nm/min,表面粗糙度为073 nm;去除过程中石英玻璃在碱性环境下与抛光液发生化学反应,生成低于本体硬度的软质层,易于通过磨粒机械作用去除。使用该抛光液进行传统化学机械抛光和雾化化学机械抛光,比较两者的抛光效果。结果表昍两者抛光效果接?但超声雾化方式抛光液用量?仅为传统抛光方式?/7