1.电阻

10^-5�?×10^5Ω

10^-6�?×10^5Ω

2.方块电阻

10^-5�?×10^5Ω/■�/span>

10^-6�?×10^5Ω/■�/span>

3.电阻玆�/span>

10^-6�?×10^6Ω-cm

10-7�?×106Ω-cm

4.测试电流

0.1μA.μA.0μA�?00µA�?mA＋�/span>

10mA�?00mA

1A�?/span>100mA�?/span>10mA�?/span>1mA�?/span>100uA�?/span>10uA�?/span>1uA�?/span>0.1uA

5.电流精度

±0.1%

6.电阻精度

�?.3%

7.PC软件操作

PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚� �?/span>2D�?D图谱�?/span>压力�?/span>

报表生成筈�/span>

8.压力范围９�/span>

探针压力可调范围：软件控�?100-500g可调

9.採�/span>钇�/span>

针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%

圆头铛�/span>镀釐�/span>材质＋�/span>探针间距1mm�?mm�?mm选配＋�/span>其他规格可定刵�/span>

10.可测晶片

尺寸选购

晶圆尺寸�?-12寷�/span>＇�/span>6寷�/span>150mm＋�/span>12寷�/span>300mm）；

方形片：大至156mm X 156mm �?25mm X 125mm

11.分析模式

单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试

12.加压方式

测量重复性：重复性≤3%

13.安全防护

具有限位量程和压力保抣�误操作和急停防护;异常警报

14.测试环境

真空

15.电源

输入: AC 220V±10%.50Hz � 耗：<100W

16.选购项目

电脑和打印机