ApplicationNote 123
使用气体混合器为AutoChem提供自定义的气体混合氓/span>
AutoChem的气体混合器可使用户无需购买定制混合气瓶而进行一系列不同气体浓度的实验。为达到AutoChem的最优性能,混合气压力必须稳定且在10-15psi之间。通常的气体混合器无法满足这一需求,佅/span>AutoChem可以通过配备背压调节器和放空线路,然后混合器提供足量的气体,从而达到上述压力要求、/span>
下面的示意图说明了双组分混合器所需的配置。用户可自行配置或从麦克仪器公司购买配件,部件号丹/span>No.291-33006-00、/span>
气体混合器需要选定为AutoChem的Manual Mixer模式,从AutoChem应用程序的Unit菜单中选择Gas Selections可访问该选项、/span>
气体混合器的气体入口压力设定?0 psi、/span>
混合器的气体流速必须大于AutoChem的流速设定值、/span>例如,若AutoChem使用20 sccm的参比流速和20 sccm的载气流速,则总流速为40 sccm、/span>为保证入口压力稳定,混合器必须提?0 sccm的气体流速,多余?0 sccm放空出去、/span>
通过使用背压调节器和放空阀使混合器的出口压力降低至10-15 psi、/span>调节器将多余的流量经放空管放空、/span>
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后续会议安排9/span>
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