产品型号

GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪

本设备要求在海拔1000m以下，温�?5�?#177;15℃，湿度55%Rh��10%Rh下使用、�/span>

1、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

2、工作台：落地式，占地面�?m²以上

3、通风装置：需�?/span>

主要特点

1�?/span>采用桌面小型一体化结构＋�/span>将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计，体积与一�?/span>A3打印机相仿、�/span>

2�?/span>釆�span>用电阻式双蒸发源结构，可快速实现蒸发源的转换。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源，适应相应的镀膜材料、�/span>

3�?/span>酌�span>月�/span>0.1%精度蒸发电源，并具有恒流输出功能，对蒸发舟能起到很好的保护作用、�/span>

4�?/span>�?span>选配石英晶体膜厚控制仪，在镀膜过程中对镀膜速率和膜层厚度进行控制、�/span>

5�?/span>可将采集到的镀膜数据保存到U盘，便于用户分析控制（选配）、�/span>

6�?/span>�?span>机将所有功能设计成标准化模块，根据用户不同的需求对相应模块进行组合，以达到**化的镀膜环境，幵�span>侾�/span>于用户维修与维护、�/span>

7�?/span>操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面，触屏操作，实现全图形化界面，易用易懂、�/span>

技术参�?/span>

1�?/span>电源９�/span>AC220V 1500W

2、蒸发电源功率：1000W 5V 200A

3、蒸发电极有效距离：44mm

4、样品台９�/span>?120mm（可旋转（�/span>

5、膜厚测量精度：0.1?戕�/span>0.01?（可选配高精度型（�/span>

6、外接真空机组：国产分子泵机组（可选配扩散泴�/span>机组或进口分子泵机组）（不建议使用扩散泵（�/span>

7、极限真空度９�/span>>3.0��10^-3torr（扩散泵）�?.0��10^-4Pa（分子泵）（不建议使用扩散泵（�/span>

8、工作真空度９�/span>5.0��10^-3torr

9、真空接口：KF40

10、使用环境：温度35ℂ�/span>，湿�?/span><75%（相对湿度）不结露，海拔<1500m

产品规格

　尺寸９�/span>440mm��240mm��260mm（不包括真空机组）；重量：约47kg（不包括真空泴�/span>