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等离子样品清洗设备Evactron E50
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产品简今/div>

产品介绍9/span>

等离子体样品清洗设备Evaction E50主要用于场发射扫描电镜样品和样品室内碳氢化合物、有机物和表面碳污染的清洗、/span>Evaction E50可以安装在电镜交换仓或样品室内,利用等离子体进行清洗,也可以用紫外线进行清洗,无需切换到低真空模式即可使用,射频功率高辽/span>50W,清洗效率高、/span>

主要特点9/span>

n清洗效率高(射频功率50W(/span>

n等离子体和紫外线双重清洗

n高真空模式下运行,真空范围大

n无损清洗

n无需特殊气源

n兼容SEM?/span>FIB等设夆/span>

操作方式

桌面按钮控制

远程遥控

支持安卓平板电脑或蓝牙控刵/span>

尺寸

44 x 8.9 x 22 cm (W x H x D)

射频功率

20 - 75 W (13.56 MHz RFHC)

电源

100 240 VAC 50/60 Hz

标准

符合RoHS标准

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