THERMAL NIL 桌面式纳米热压印朹�/strong>

NIR-MFD-S-SM-2 NILT CNI 实验用纳米热压印机是专为实验室和研发机构设计和开发的简单易用、性能稳定的研发型设备，用户可以通过CNI设备高效、低成本地实现高精度的纳米热压工艺，许多知名的研发机构均购买了CNI的设备和NILT CNI热压设备、�/span>

产品特点

� 占地小、操作简侾�/span>

�可实现高质量的图形复刵�/span>

�可实现纳米热压设备的一切功能，而无需昂贵的工艺设夆�/span>

产品应用

�在硅片上制作纳米级光栄�/span>

�压印易碎的材料（例如III-V族材料）

�微结构加�?/span>

�制作压印印章

�保护母版的适用寿命

�热压高深宽比结构图形

技术参�?/span>

THERMAL NIL主要性能指标

�集成控温卡盘，可对温度进行测量、控刵�/span>

�可适用�?00mm�? 英寸以下）所有尺寸和形状的压印模板、�/span>

�可适用于Silicon� Quartz� Nickel and Polymer materials

�压印程序可进行编稊�/span>

�适用所有热压印材料

�设备可用于复制压印母松�/span>

�压印温度可达200 摄氏�?/span>

�压力范围�?�?0 bar

�压印精度�?0nm 或更� (可完成工艺验�?

�将模板加热和温度测量集成与压印载盘上

�载盘适用于易碎衬应�/span>

�快速升温，快速降温，拥有**技术的卡盘设计，可保证快速升温、降温并保持良好的温度均匀性�?0℃�?30℃�?0℃少�? 分钟

�提供COC 有机聚合物中间层软膜�?**的母板复制工艺），耗材及工艺培�?/span>

�提供压印相关材料

�提供工艺培训和支�?/span>

压印程序可进行编程（温度、压力、时间）

压印实例

聚合物中间层工艺

NIL TECHNOLOGY ApS (NILT)高分子聚合物中间层压印技术可以实现纳米压�?热压印非平面化的压印，同时高分子聚合物中间层的热塑弹性材料实现纳米结构的转移和复制。可保护昂贵的母板因多次转印而损坏，同时用于母板的复制、�/span>

NIL TECHNOLOGY ApS (NILT) 部分应用实例

1、仿生应用用于制作昆虫眼部六角结枃�/span>

2、微型注射针头结枃�/span>

3、方形结构阵�?00nm

4、分布式反馈激光器�?40nm光栅结构

5、磷化铟(InP)，突出高�?112nm

咨询电话９�/span>021-64149583�?/span>021-56461550�?/span>021-65061775

公司邮箱９�/span>info@micro***********

公司地址：上海市杨浦区黄兴路2077号蓝天大�?span>21F