编号：CPJS01406
篇名：Si基稀土Er_2O_3薄膜材料特性及制备研究进展
作者：陈长春； 刘江峰； 余本海； 王林；
关键词：Si基Er2O3薄膜； 能带带隙； X射线光电子谱(XPS)； 光学常数； 金属有机物化学气相淀积(MOCVD)；
机构： 信阳师范学院物理电子工程学院；
摘要： Si基Er2O3薄膜材料具有带隙宽、k值高等特点,在微电子和光电子领域具有潜在的应用价值。首先,阐述了Si基Er2O3薄膜材料的晶体结构具有多态现象,而立方晶形的Er2O3具有方铁锰矿立方结构,易制成高度择优取向的薄膜甚至单晶膜。其次,介绍了利用X射线光电子谱(XPS)技术确定Er2O3和Si两种材料的价带和导带偏移及采用光电子谱来确定高k介质材料能带带隙。此外,还介绍了Si基Er2O3薄膜材料光学常数的测试方法及其光谱转换特性,可用于太阳光伏电池。最后,着重介绍了国内外Si基Er2O3薄膜材料制备方面的最新研究进展,并指出金属有机物化学气相淀积(MOCVD)是未来产业化制备Si基Er2O3薄膜材料的理想选择。
