产品特点

测量项目：峰值波长、峰值强度、积分强度、半峰宽（FWHM）、AlGaN 层中铝含野�/p>

厚度测量：GaN 层薄膜厚�?/p>

弯曲度测量（可选）

符合 SEMI 标准的晶圆：2”�?”�?”�?50 mm�?00 mm

符合 SEMI 标准� 300 mm 晶圆（可选）

可选激光波长：213 nm�?66 nm�?25 nm�?75 nm�?05 nm�?32 nm�?80 nm�?064 nm 筈�/p>

自动对焦功能，可在不修改测量配置的情况下测量不同厚度的晶圅�/p>

支持 Excel、CSV 导出，格式灵洺�/p>

兼容 SECS/GEM、MES

优秀的光致发光（PL）成像系统，全球销量超� 250 台（覆盖 9 个国家�?3 位客户）

产品概要

PLATO GaN 功率器件/UV-C

自动光致发光扫描成像系统

PLATO 数据示例: UV-C �?13 nm 激光激发）

PLATO 数据示例: GaN 功率器件 Al% �?66 nm 激光激发）

Bow 测量结果示例（位移传感器（�/p>

PLATO VCSEL & NIR LD

自动光致发光扫描成像系统

PLATO 数据示例: 940 nm VCSEL

PLATO 数据示例: 光通信和气体传感器（NIR波段（�/p>

PLATO 特殊功能

PLATO 参数