PLATO-MicroScan 是一款在 PLATO 系列平台上集成物镜的微区 PL 扫描成像系统。这款基于物镜的微区光致发光扫描成像系统测量能力可达 1μm 的空间分辨率，能够对 InP 等材料进行晶圆小尺寸缺陷检测� 同时，PLATO-MicroScan 可通过带隙测量和微观缺陷检测等项目帮助提升批量生产的质量，优化 MOCVD 工艺条件，修� MQW 结构设计、�/p>

5× 物镜: 微区 PL 扫描成像和晶圆对凅�/p>

10×/20×物镜: 微区 PL 扫描成像

产品特点

� 微区 PL 扫描成像系统

� 空间分辨玆� 1 μm

� 兼容2-8英寸晶圆，无需硬件改动

� 自动聚焦功能

� 通过 alignment key 进一步精细对凅�/p>

� 5×物镜: 微区 PL 扫描成像和对凅�/p>

� 10×/20×物镜: 微区 PL 扫描成像

� 可同时配置多� 4 个激发波镾�/p>

� 激光波长可逈� 532�?85� 980�?064 nm

外观尺寸