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量程范围９/span>0.5 SCCM 5,000 SLPM
测量范围９/span> 1% 100% F.S.
精度９/span>读数 0.8% 0.2% F.S.
可选高精度９/span>读数 0.4% 0.2% F.S.
重复性：±0.2% F.S.
响应时间９/span><10 毫秒
工作温度９/span>?0°C +60°C
工作压力９/span>160 PSIA (11 barA)
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